Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 119 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042374148 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 150223s2014 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)915576479 | ||
| 035 | |a (DE-599)GBV790587998 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZM 6540 |0 (DE-625)157086: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Schulze, Marcel |d 1979- |e Verfasser |0 (DE-588)1058345710 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas |c von Marcel Schulze |
| 264 | 1 | |c 2014 | |
| 300 | |a 119 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Jena, Univ., Diss., 2014 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Entspiegeln |0 (DE-588)7544627-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Entspiegeln |0 (DE-588)7544627-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027810352&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027810352 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804153012649721856 |
|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1 EINFUEHRUNG 3
2 PHYSIK UND BERECHNUNGEN ZU ANTIREFLEXSTRUKTUREN 8
2.1 GRUNDLAGEN UND REFLEXMINDERNDE SCHICHTEN 8
2.1.1 REFLEXION UND TRANSMISSION, FRESNELSCHE FORMELN 8
2.1.2 REFLEXMINDERNDE SCHICHTEN 10
2.2 ANTIREFLEXSTRUKTUREN 12
2.2.1 ANFORDERUNGEN AN DIE ANTIREFLEXWIRKUNG DER ARS 15
2.2.2 STOCHASTISCH VERTEILTE ANTIREFLEXSTRUKTUREN 17
2.3 BERECHNUNGEN 18
2.3.1 EINFLUSS DES BRECHUNGSINDEXVERLAUFES N
E
FF(Z) 19
2.3.2 EINFLUSS DES EINFALLSWINKELS P 20
3 MATERIALIEN UND METHODEN 23
3.1 KIESELGLAS UND DESSEN STRUKTURIERUNG MITTELS PLASMAAETZENS 23
3.1.1 GRUNDLAGEN DES PLASMAAETZENS 24
3.1.2 RIE UND ICP ALS ARTEN DES PLASMAAETZENS 26
3.2 UNTERSUCHUNGSMETHODEN 29
3.2.1 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE 29
3.2.2 REM-BILDANALYSE ZUR LATERALEN STRUKTURGROESSENBESTIMMUNG .... 31
3.2.3 OPTISCHE SPEKTROSKOPIE 32
3.2.4 UNTERSUCHUNGEN ZUR TAUGLICHKEIT DER ANTIREFLEXSTRUKTUREN .... 34
4 CHEMIE DES ARS-AETZPROZESSES UND SELBSTMASKIERUNG 37
4.1 AETZCHEMIE IN SF
6
- UND C
4
F
8
-PLASMEN 38
4.2 SELBSTMASKIERUNG 41
4.3 ENTSTEHUNG VON MIKROMASKIERENDEN POLYMERCLUSTERN 42
4.3.1 KEIMBILDUNG 43
4.3.2 WACHSTUMSMODI VON SCHICHTEN 45
5 HERSTELLUNG UND ANALYSE DER ANTIREFLEXSTRUKTUREN 48
5.1 EINFLUSS DER PROZESSPARAMETER UND LATERALE STRUKTURGROESSEN 48
HTTP://D-NB.INFO/1058345729
INHALTSVERZEICHNIS
5.2 STRUKTURTIEFE 57
5.3 OPTISCHE CHARAKTERISIERUNG 60
5.3.1 SPEKTRALE TRANSMISSION UND REFLEXION 60
5.3.2 STREUUNG UND ABSORPTION 65
5.3.3 SPEKTRALER GUETEGRAD ALS QUALITAETSPARAMETER 67
5.4 UEBERPRUEFUNG UND ANPASSUNG DER BANDBREITENDEFINITION 69
5.5 TAUGLICHKEITSUNTERSUCHUNGEN 72
5.5.1 MECHANISCHE REINIGUNG - WISCHTESTS 72
5.5.2 UV-BRENNEN 75
5.5.3 OBERFLAECHENANALYSE 77
5.5.4 ZERSTOERSCHWELLENMESSUNGEN 78
6 ANWENDUNGEN 81
6.1 REFRAKTIVE LINSEN 81
6.2 MIKROLINSENARRAYS 87
6.3 DIFFRAKTIVE ELEMENTE 89
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 95
LITERATURVERZEICHNIS 98
ABKUERZUNGEN UND SYMBOLE 114
DANKSAGUNG 117
EHRENWOERTLICHE ERKLAERUNG 119
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Schulze, Marcel 1979- |
| author_GND | (DE-588)1058345710 |
| author_facet | Schulze, Marcel 1979- |
| author_role | aut |
| author_sort | Schulze, Marcel 1979- |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042374148 |
| classification_rvk | ZM 6540 |
| ctrlnum | (OCoLC)915576479 (DE-599)GBV790587998 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01321nam a2200349 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV042374148</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">150223s2014 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)915576479</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)GBV790587998</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 6540</subfield><subfield code="0">(DE-625)157086:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schulze, Marcel</subfield><subfield code="d">1979-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1058345710</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas</subfield><subfield code="c">von Marcel Schulze</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2014</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">119 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jena, Univ., Diss., 2014</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Entspiegeln</subfield><subfield code="0">(DE-588)7544627-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Entspiegeln</subfield><subfield code="0">(DE-588)7544627-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027810352&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027810352</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042374148 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:19:50Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027810352 |
| oclc_num | 915576479 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | 119 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2014 |
| publishDateSearch | 2014 |
| publishDateSort | 2014 |
| record_format | marc |
| spelling | Schulze, Marcel 1979- Verfasser (DE-588)1058345710 aut Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas von Marcel Schulze 2014 119 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Jena, Univ., Diss., 2014 Entspiegeln (DE-588)7544627-3 gnd rswk-swf Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Entspiegeln (DE-588)7544627-3 s Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027810352&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schulze, Marcel 1979- Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas Entspiegeln (DE-588)7544627-3 gnd Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)7544627-3 (DE-588)4174821-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas |
| title_auth | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas |
| title_exact_search | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas |
| title_full | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas von Marcel Schulze |
| title_fullStr | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas von Marcel Schulze |
| title_full_unstemmed | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas von Marcel Schulze |
| title_short | Stochastische Antireflexstrukturen in Kieselglas |
| title_sort | stochastische antireflexstrukturen in kieselglas |
| topic | Entspiegeln (DE-588)7544627-3 gnd Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd |
| topic_facet | Entspiegeln Plasmaätzen Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027810352&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schulzemarcel stochastischeantireflexstruktureninkieselglas |