Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss., 1994 (Nicht für den Austausch) |
| Beschreibung: | III, 118 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010291857 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980213 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950627s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 944563627 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)70189668 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010291857 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 084 | |a FEI 410d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schift, Helmut |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik |c von Helmut Schift |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a III, 118 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Karlsruhe, Univ., Diss., 1994 (Nicht für den Austausch) | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Polymethylmethacrylate |0 (DE-588)4310108-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrooptik |0 (DE-588)4362762-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Optisches Bauelement |0 (DE-588)4172681-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Optisches Bauelement |0 (DE-588)4172681-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikrooptik |0 (DE-588)4362762-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Polymethylmethacrylate |0 (DE-588)4310108-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006846900&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006846900 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453836805111808 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG.1
1.1. STAND DER TECHNIK.1
1.1.1. OPTISCHE MIKROSCHALTER MIT POLYMEREN.1
1.1.2. ELEKTRONIK - PHOTONIK.2
1.2. BAUELEMENTE DURCH MIKROSTRUKTURIERUNG.4
1.2.1. LICHT FUEHREN UND MANIPULIEREN.4
1.2.2. MATERIALIEN VERBINDEN UND KOMBINIEREN.5
1.2.3. BAUELEMENTE ZUSAMMENFUEGEN UND FIXIEREN.6
1.2.4. OPTISCHE MATERIALIEN UND PROZESSTECHNOLOGIEN.7
1.2.5. MASSENFERTIGUNG.7
1.3. ZIELE.7
1.4. VORGEHENSWEISE.8
1.4.1. MATERIALFRAGE.8
1.4.2. STRUKTURIERUNG.9
1.4.3. MESSUNGEN.9
2. LINEARE UND NICHTLINEARE OPTIK.10
2.1. LINEARE OPTIK.10
2.1.1. GAUSSSCHE STRAHLEN UND IHRE TRANSFORMATION DURCH
OPTISCHE ELEMENTE.10
2.1.2. FASEROPTIK.,. 13
2.2. NICHTIINEARE OPTIK.19
2.2.1. GRUNDLAGEN.19
2.2.2. BAUELEMENTE.23
2.2.3. SAETTIGBARE ABSORPTION.25
2.2.4. LASERINDUZIERTE GITTER (LIG).29
2.2.5. GRUNDLAGEN DES PHASENKONJUGIERENDEN SPIEGELS.31
2.2.5.1. HOLOGRAPHIE.32
2.2.5.2. ANWENDUNGEN FUER EINEN PKS.35
2.2.5.3. ALTERNATIVE MATERIALIEN UND KONZEPTE.37
2.2.5.4. BERECHNUNG DER PHASENKONJUGATION.38
2.2.6. MATERIALIEN.39
2.2.7. STOEREFFEKTE.43
2.2.7.1. ZWEI-PHOTONEN-ABSORPTION.43
2.2.7.2. NICHTLINEAR-OPTISCHE EFFEKTE AUF GLASFASERN.43
2.2.7.3. THERMISCHE EFFEKTE.44
2.2.7.4. PHOTOINDUZIERTER PROBENABBAU.44
3. MIKROSTRUKTURIERUNG DURCH ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE.45
3.1. LIGA-TECHNIK.45
3.2. VOREXPERIMENTE.46
3.2.1. STRUKTURIERUNG DURCH WAFERSAEGE.46
3.2.2. BEFUELLUNGSVERSUCHE.46
3.3. HERSTELLUNG DER STRUKTUREN.47
3.3.1. LITHOGRAPHIE.47
3.3.1.1. MASKEN.48
3.3.1.2. SUBSTRATE, ANFORDERUNGEN UND
VORBEHANDLUNG.49
3.3.1.3. RESISTAUFBRINGUNG UND -BEARBEITUNG.50
3.3.1.4. BESTRAHLUNG.50
3.3.1.5. ENTWICKLUNG.51
3.3.1.6. ZERSAEGEN.51
3.3.2. GALVANIK.51
3.3.3. ABFORMUNG.52
3.3.4. FUEGETECHNIK.52
3.3.5. DEFEKTE.53
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/944563627
II
3.4. REALISIERTE STRUKTUREN.54
3.4.1. OPTISCHE STRUKTURGRUPPEN.54
3.4.1.1. FREISTRAHLSTRUKTUREN.54
3.4.1.2. FASE RANGEPASSTE STRUKTUREN.55
3.4.1.3. DUENNE STRUKTUREN.55
3.4.1.4. STRUKTUREN FUER DURCHLICHTAUFGABEN.56
3.4.2. LICHTLEITENDE UND -TEILENDE STRUKTUREN.56
3.4.2.1. ECKSPIEGEL.56
3.4.2.2. WELLENLEITER UND VERZWEIGER.57
3.4.3. FOKUSSIERENDE STRUKTUREN.58
3.4.3.1. ZYLINDERLINSEN.58
3.4.3.2. KUGELLINSEN.58
3.4.3.3. QUERFASERN.59
3.4.3.4. GEKREUZTE ZYLINDERLINSEN.61
3.4.4. POSITIONIERENDE STRUKTUREN.62
3.4.4.1. FASERFUEHRUNGSKANAELE.62
3.4.4.2. KUGELLINSENPOSITIONIERUNGEN.63
3.4.4.3. POSITIONIERUNG ANDERER ELEMENTE.63
3.4.5. KUEVETTEN.63
3.5. MIKROTECHNISCHE REALISIERUNG VON PHOTONISCHEN
BAUELEMENTEN.64
3.5.1. HYBRIDAUFBAU.65
3.5.2. INTEGRIERTER AUFBAU.66
4. MESSUNGEN.68
4.1. EXPERIMENTELLE AUFBAUTEN UND MESSKONZEPTE.68
4.1.1. NANOSEKUNDEN-LASERSYSTEM MIT FESTER WELLENLAENGE.68
4.1.2. LOCK-IN-TECHNIK.69
4.1.3. PINHOLE-SCANNING-MESSAUFBAU.69
4.2. FOKUSSIERUNGSEIGENSCHAFTEN DER STRUKTUREN.70
4.2.1. FASEROPTIK.70
4.2.2. KUGELLINSE.71
4.2.3. GEKREUZTE ZYLINDERLINSEN.73
4.3. SAETTIGBARE ABSORPTION.78
4.3.1. AUFBAU EINES SAETTIGBAREN SCHALTERS.78
4.3.2. MESSUNG.78
4.3.3. DISKUSSION.80
4.4. PHASENKONJUGATION.81
4.4.1. AUFBAUSCHEMA.81
4.4.2. MESSUNG.81
4.4.2.1. NICHTLINEARE ABHAENGIGKEIT DER SIGNALLEISTUNG
VON DER PUMPLEISTUNG.83
4.4.2.2. HOLOGRAPHISCHE ABBILDUNG.84
4.4.2.3. NACHWEIS EINES BEUGUNGSGITTERS IN DER PROBE.84
4.4.3. DISKUSSION.85
4.5. AUFBAU EINES MIKROSYSTEMS.85
4.5.1. AUFBAUSCHEMA.85
4.5.2. SAETTIGBARE ABSORPTION.87
4.5.3. PHASENKONJUGATION.89
4.5.4. DISKUSSION. 92
4.5.5. WEITERFUEHRENDE UNTERSUCHUNGEN.93
5. DISKUSSION UND AUSBLICK.94
5.1. MIKROSTRUKTURIERUNG.94
5.2. NICHTLINEARE OPTIK.96
5.3. AUSBLICK.98
III
ANHANG A FOKUSSIERUNG.100
A.1 STRAHLMATRIX EINER DICKEN LINSE.100
A.2 WEITERE STRAHLMATRIZEN.101
A.3 BERECHNUNG DES STRAHLVERLAUFS BEIM DURCHGANG DURCH EIN
OPTISCHES SYSTEM.102
A.4 BERECHUNG DER FELDWEITE EINER SINGIEMODE-GLASFASER.103
A.5 FEHLERABSCHAETZUNG BEI MIKROOPTISCHEN
FOKUSSIERUNGSSYSTEMEN.104
A.5.1 FEHLANPASSUNG DER OPTISCHEN ACHSEN.105
A.5.2 NEIGUNG DER GLASFASERSTIMFLAECHE.106
ANHANG B.1 HERLEITUNG DES REFLEXIONSKOEFFIZIENTEN EINES
PHASENKONJUGIERENDEN SPIEGELS.107
LITERATURVERZEICHNIS.110
DANKSAGUNG.
117
LEBENSLAUF.118 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schift, Helmut |
| author_facet | Schift, Helmut |
| author_role | aut |
| author_sort | Schift, Helmut |
| author_variant | h s hs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010291857 |
| classification_tum | ELT 285d FEI 410d |
| ctrlnum | (OCoLC)70189668 (DE-599)BVBBV010291857 |
| discipline | Physik Elektrotechnik Feinwerktechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010291857</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980213</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950627s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">944563627</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)70189668</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010291857</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FEI 410d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schift, Helmut</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik</subfield><subfield code="c">von Helmut Schift</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 118 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Karlsruhe, Univ., Diss., 1994 (Nicht für den Austausch)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polymethylmethacrylate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4310108-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrooptik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4362762-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Optisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172681-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Optisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172681-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikrooptik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4362762-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Polymethylmethacrylate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4310108-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006846900&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006846900</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010291857 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:17:53Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006846900 |
| oclc_num | 70189668 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| physical | III, 118 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Schift, Helmut Verfasser aut Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik von Helmut Schift 1994 III, 118 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Karlsruhe, Univ., Diss., 1994 (Nicht für den Austausch) Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd rswk-swf Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd rswk-swf Optisches Bauelement (DE-588)4172681-9 gnd rswk-swf LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Optisches Bauelement (DE-588)4172681-9 s Mikrooptik (DE-588)4362762-6 s Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 s LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006846900&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schift, Helmut Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd Optisches Bauelement (DE-588)4172681-9 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4310108-2 (DE-588)4362762-6 (DE-588)4172681-9 (DE-588)4274347-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik |
| title_auth | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik |
| title_exact_search | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik |
| title_full | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik von Helmut Schift |
| title_fullStr | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik von Helmut Schift |
| title_full_unstemmed | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik von Helmut Schift |
| title_short | Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik |
| title_sort | herstellung und untersuchung photonischer mikrobauelemente in liga technik |
| topic | Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd Optisches Bauelement (DE-588)4172681-9 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| topic_facet | Polymethylmethacrylate Mikrooptik Optisches Bauelement LIGA-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006846900&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schifthelmut herstellungunduntersuchungphotonischermikrobauelementeinligatechnik |