Ein neues Modell zur dreidimensionalen Rekonstruktion von Messdaten eines Rasterelektronenmikroskops:
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Garbsen
PZH Verlag
[2015]
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| Ausgabe: | [Erstausgabe] |
| Schriftenreihe: | Berichte aus dem imr
Band 01/2015 |
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1 EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG 1
2 AUFLOESUNG UND VERGROESSERUNG IN DER MIKROSKOPIE 5
3 MOEGLICHKEITEN ZUR 3D-OBERFLAECHENERFASSUNG IM MIKROBEREICH 11
3.1 KLASSISCH TAKTILE METHODEN 11
3.2 AKUSTISCHE METHODEN - ULTRASCHALLMIKROSKOPIE 12
3.3 LICHTOPTISCHE METHODEN BIS ZUM ABBE LIMIT 13
3.4 LICHTOPTISCHE METHODEN JENSEITS DES ABBE LIMITS 19
3.5 RASTERSONDENMIKROSKOPISCHE METHODEN - SCANNING PROBE MI-
CROSCOPY (SPM) 22
3.6 ROENTGENMIKROSKOPIE (MIKRO CT) 26
3.7 METHODEN BASIEREND AUF EINEM TEILCHENSTRAHL 28
3.8 ZIELKONFLIKT 33
4 DAS REM - AUFBAU UND MOEGLICHE 3D MESSVERFAHREN 37
4.1 AUFBAU 37
4.2 AUFLOESUNGSVERMOEGEN 47
4.3 DIE MESSEINRICHTUNG 54
4.4 3D METHODEN 54
5 OPTIMIERUNGSPOTENTIAL BEI DER VERBESSERTEN PHOTOMETRISCHEN ME
THODE 63
5.1 MESSOBJEKTBESCHICHTUNG 63
5.2 DAS MESSOBJEKTNAHE ELEKTRISCHE FELD 64
5.3 HOMOGENE SAUGWIRKUNG DER DETEKTOREN 64
IX
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5.4 HALTERUNG 65
5.5 WIRKUNGSGRAD, MAGNETFELDAUSGLEICH UND MESSOBJEKTDREHUNG . . 66
5.6 AUSWIRKUNG VON LADUNGSEFFEKTEN 68
5.7 OPTIMIERUNGSVERFAHREN 68
5.8 KALIBRIERUNG 68
5.9 STOEREFFEKTE 69
6 GETROFFENE MASSNAHMEN ZUR VERBESSERUNG DER PHOTOMETRISCHEN
ME
THODE 71
6.1 MESSOBJEKTBESCHICHTUNG 71
6.2 DAS MESSOBJEKTNAHE ELEKTRISCHE FELD 77
6.3 HOMOGENE SAUGWIRKUNG DER DETEKTOREN - EIN NEUES MODELL FUER
DIE ELEKTRONENREGISTRIERUNG 80
6.4 HALTERUNG 81
6.5 MODIFIKATIONEN DES SYSTEMS UND DER REKONSTRUKTIONSALGORITHMEN 81
6.6 WAHL OPTIMALER SCANPARAMETER 103
6.7 OPTIMIERUNGSVERFAHREN 105
6.8 KALIBRIERUNG 105
6.9 STOEREFFEKTE 108
7 REDUKTION VON SE3 - ENTWURF EINER ELEKTRONENFALLE 109
7.1 DER GRUNDGEDANKE 109
7.2 ELEKTRONENABSORBIERENDE STRUKTUREN IN DER LITERATUR 110
7.3 SIMULATIONEN ZUM STRUKTURENTWURF 110
7.4 UMSETZUNGEN 113
7.5 EVALUATION 115
7.6 MONTAGE 116
7.7 ALTERNATIVES KONZEPT 116
8 SIMULATION 119
8.1 ABLAUF SIMULATION 119
8.2 VERIFIKATION DER SIMULATION 131
8.3 ERGEBNISSE DER SIMULATIONEN 133
X
9 ERGEBNISSE AUS VERSUCHEN 145
9.1 ALLGEMEINE VERSUCHE MIT DEM NEUEN SYSTEM 145
9.2 KALIBRIERUNG 146
9.3 REKONSTRUKTION 148
10 ZUSAMMENFASSUNG 151
LITERATUR 155
ANHANG 173
XI
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