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    PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing

    PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing von Powell, Ronald A., Rossnagel, Stephen M.

    Veröffentlicht 1999
    Buch Fernleihe Bestellen


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    Modeling of film deposition for microelectronic applications

    Modeling of film deposition for microelectronic applications

    Veröffentlicht 1996
    Weitere Verfasser: “… Rossnagel, Stephen M. …”
    Buch Fernleihe Bestellen


    Gespeichert in:

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