Fotolithografie: Grundlagen der Mikrostrukturierung
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| Körperschaft: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Ulm
MicroChemicals
2017
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| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 205 Seiten Illustrationen, Diagramme 24.9 cm x 17.2 cm, 700 g |
| ISBN: | 9783981878202 |
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