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    Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz

    Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz von Büttgenbach, Stephanus, Prillwitz, Bettina, Schmidt, Bertram

    Veröffentlicht 1990
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    Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quarz

    Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quarz von Büttgenbach, Stephanus, Prillwitz, Bettina, Schmidt, Bertram

    Veröffentlicht 1990
    Buch Fernleihe Bestellen


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