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    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter

    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter von Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1982
    Mikrofilm Buch Fernleihe Bestellen


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    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter

    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter von Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1982
    Abschlussarbeit Mikrofilm Buch Fernleihe Bestellen


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    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter

    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter von Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1982
    Mikrofilm Buch Fernleihe Bestellen


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    Analytik von dielektrischen Schichten für VLSI-Anwendungen, insbesondere Einfluß von Stöchiometrie und Wasserstoffgehalt auf die Eigenschaften von Plasmanitridschichten

    Analytik von dielektrischen Schichten für VLSI-Anwendungen, insbesondere Einfluß von Stöchiometrie und Wasserstoffgehalt auf die Eigenschaften von Plasmanitridschichten von Eichinger, Peter, Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1985
    Buch Fernleihe Bestellen


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    Analytik von dielektrischen Schichten für VLSI-Anwendungen insbes. Einfluß von Stöchiometrie u. Wasserstoffgehalt auf d. Eigenschaften von Plasmanitridschichten

    Analytik von dielektrischen Schichten für VLSI-Anwendungen insbes. Einfluß von Stöchiometrie u. Wasserstoffgehalt auf d. Eigenschaften von Plasmanitridschichten von Eichinger, Peter, Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1985
    Buch Fernleihe Bestellen


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    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter

    Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter von Paduschek, Peter

    Veröffentlicht 1982
    Buch Fernleihe Bestellen


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