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Elastische Parallelkinematische Führungsgetriebe für ultrapräzise Bewegungen im Vakuum Konzepte, Komponenten und Konfigurationen der BESSY-Spiegelsysteme von Noll, Tino 1962-
Veröffentlicht 2003Signatur: Wird geladen …
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Elastische Parallelkinematische Führungsgetriebe für ultrapräzise Bewegungen im Vakuum Konzepte, Komponenten und Konfigurationen der BESSY-Spiegelsysteme von Noll, Tino 1962-
Veröffentlicht 2003Signatur: Wird geladen …Volltext öffnen
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