Stabilität piezoresistiver Siliziumsensoren:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Dresden ; München
Dresden Univ. Press
1998
|
| Schriftenreihe: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
6 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 1997 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
DES
HERAUSGEBERS
.
VII
VORWORT
.
IX
ABSTRACT
.
XI
ZEICHEN
UND
BENENNUNGEN
.
XIII
1
EINLEITUNG
.
1
1.1
STOERGROESSEN
AN
PIEZORESISTIVEN
SENSOREN
.
1
1.2
ZIELE UND
EINORDNUNG
DER
ARBEIT
.
2
1.3
INHALTLICHE
SCHWERPUNKTE
DER
ARBEIT
.
4
2
PASSIVIERUNG
PIEZORESISTIVER
HALBLEITERSENSOREN
.
7
2.1
ANFORDERUNGEN
AN
SENSORPASSIVIERUNGEN
.
7
2.2
REALISIERUNG
VON
PASSIVIERUNGEN
AN
PIEZORESISTIVEN
SENSOREN
.
8
2.3
EINTEILUNG
DER
PASSIVIERUNGEN
.
8
2.3.1
PRIMAERPASSIVIERUNG
.
9
2.3.2
SEKUNDAERPASSIVIERUNGEN
.
11
2.4.
PASSIVIERUNGSMATERIALIEN
.
12
2.4.1
SILIZIUMDIOXID
SIO
2
.
12
2.4.2
SILIZIUMNITRID
SI
3
N
4
.
15
2.4.3
WEITERE
PASSIVIERUNGSMATERIALIEN
.
17
2.5
PASSIVIERUNGSSCHICHTSYSTEME
.
19
3
INSTABILITAETEN
PASSIVIERTER
HALBLEITERSTRUKTUREN
.
21
3.1
LADUNGSTRAEGER
IN
PASSIVIERUNGSSCHICHTEN
AUS
SILIZIUMDIOXID
.
21
3.1.1
ZUSTAENDE
UND
LADUNGEN
IM
SYSTEM
SI/SIO
2
.
21
3.1.2
C/V-MESSTECHNIK
.
24
3.1.3
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
27
3.1.4
BEWEGLICHKEIT
MOBILER
LADUNGSTRAEGER
IN
SIO
2
.
28
3.2
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
PASSIVIERTEN
HALBLEITERSTRUKTUREN
UND
UMGEBUNG
.
31
3.2.1
ADSORPTION
VON
WASSER
AN
DER
FESTKOERPEROBERFLAECHE
.
31
3.2.2
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
VON
ADSORBIERTEN
WASSERFILMEN
.
37
3.2.3
ELEKTRONISCHE
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
ADSORBAT
UND
SILIZIUMSUBSTRAT
UEBER
EINE
ISOLIERENDE
SILIZIUMOXIDSCHICHT
.
38
3.2.4
ABSORPTION
UND
DIFFUSION
VON
WASSER
IM
FESTKOERPERVOLUMEN
.
39
3.3
RAUSCHEN
VON
HALBLEITERWIDERSTAENDEN
.
41
3.4
INSTABILITAETSMECHANISMEN
PASSIVIERTER
PIEZORESISTIVER
SENSORSTRUKTUREN
.
43
4
MESS
UND
STOERGROESSENUEBERTRAGUNGSVERHALTEN
VON
PIEZORESISTIVEN
SENSOREN
.
49
4.1
ABSTRAKTION
DES
SENSORUEBERTRAGUNGSVERHALTEN
.
49
4.2
METROLOGISCHE
KENNWERTE
.
51
4.3
SIGNIFIKANZ
DETERMINIERTER
FEHLERANTEILE
.
54
4.4
STATISTISCHE
SICHERHEIT
DER
BERECHNETEN
SENSORKENNWERTE
.
54
5
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
DER
STABILITAET
PIEZORESISTIVER
SENSOREN
.
57
5.1
ZIELSTELLUNG
.
57
5.2
UNTERSUCHUNGSOBJEKTE
.
57
5.3
MESSEINRICHTUNGEN
.
60
5.3.1
WAFERPROBER-MESSPLATZ
.
60
5.3.2
TEMPERATURMESSPLATZ
.
61
5.3.3
FEUCHTEMESSPATZ
.
62
5.3.4
DRUCKMESSPLATZ
.
63
5.4
PROBEN
VORBEREITUNG
.
64
5.5
MESSUNGEN
IM
SCHEIBENVERBAND
.
65
5.6
EIGENSTOERUNGEN
DER
SENSOREN
IM
REFERENZZUSTAND
.
65
5.6.1
DER
REFERENZZUSTAND
.
65
5.6.2
MESSREGIME
ZUR
BESTIMMUNG
DER
EIGENSTOERUNGEN
.
66
5.6.3
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
66
5.7
SCHNELLE
FEUCHTEWECHSEL
OHNE
KONDENSATION
.
68
5.7.1
MESSREGIME
.
68
5.7.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
69
5.7.2.1
DETERMINIERTE
FEHLEREINFLUESSE
.
70
5.7.2.2
ZUFAELLIGE
FEHLEREINFLUESSE
.
70
5.7.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
81
5.8
TEMPERATURANREGUNG
.
83
5.8.1
MESSREGIME
.
83
5.8.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
83
5.9
DRUCKEINFLUSS
.
88
5.9.1
MESSREGIME
.
88
5.9.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
89
5.9.2.1
DETERMINIERTES
DRUCKUEBERTRAGUNGSVERHALTEN
.
89
5.9.2.2
ZUFAELLIGE
DRUCKINDUZIERTE
MESSFEHLER
.
92
5.10
REPRODUZIERBARKEIT
.
93
6
PHYSIKALISCHE
URSACHEN
ZUFAELLIGER
FEHLER
VON
PIEZORESISTIVEN
SENSOREN
.
97
6.1
URSACHEN
DER
EIGENSTOERUNGEN
.
97
6.2
URSACHEN
FEUCHTEINDUZIERTER
MESSFEHLER
.
99
6.2.1
IRREVERSIBLE
AENDERUNGEN
DER
NULLPUNKTSPANNUNG
.
99
6.2.2
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
SORBIERTEN
MOLEKUELEN
UND
PIEZOWIDERSTAENDEN
.
100
6.3
URSACHEN
TEMPERATURINDUZIERTER
MESSFEHLER
.
104
6.4
URSACHEN
DRUCKINDUZIERTER
MESSFEHLER
.
105
6.5
ZUSAMMENFASSUNG
PHYSIKALISCHER
URSACHEN
.
106
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
107
7.1
EXPERIMENTE
.
107
7.2
GENAUIGKEITSGRENZE
PIEZORESISTIVER
SENSOREN
.
109
7.3
URSACHEN
UND
EINFLUSSGROESSEN
ZUFAELLIGER
MESSFEHLER
.
110
7.4
OPTIMIERUNG
DES
PASSIVIERUNGSSCHICHTAUFBAUS
.
112
7.5
AUSBLICK
.
113
LITERATUR
.
115 |
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