Rastertunnel-Mikroskopie und Rastertunnel-Spektroskopie an Silizium(001):
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
6
1.1
UEBERBLICK
.
6
1.2
MOTIVATION
UND
ZIEL
DER
ARBEIT
.
9
2
UNTERSUCHUNGSMETHODE
10
2.1
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
(STM),
TOPOGRAPHISCHE
MODI
.
11
2.2
RASTERTUNNELSPEKTROSKOPIE
(STS)
.
11
3
THEORIE
13
3.1
TUNNELEFFEKT
.
13
3.2
METALL/VAKUUM/METALL-TUNNELKONTAKT
.
16
3.3
METALL/ISOLATOR/METALL-(MIM-)TUNNELKONTAKT
.
17
3.4
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
.
19
3.5
RASTERTUNNELSPEKTROSKOPIE
.
22
4
EXPERIMENTELLES
25
4.1
APPARATIVER
AUFBAU
.
25
4.1.1
ANALYSENKAMMER
.
25
4.1.2
PRAEPARATIONSKAMMER
UND
SCHLEUSE
.
26
4.1.3
PROBENHALTERUNG,
TRANSFER
UND
PROBENHEIZUNG
.
27
4.1.4
TESTMESSUNGEN
AN
SI(LLL)
.
29
4.2
BESCHREIBUNG
DES
STMS
.
30
4.2.1
SPEKTROSKOPIEMODUS
.
31
4.2.2
AUFBAU
EINES
ZWEITEN
UHV-STM-MESSKOPFS
.
32
4.3
PRAEPARATION
.
34
4.3.1
SILIZIUM(OOL)
.
34
4.3.2
N
2
O-ADSORPTION
.
36
4.3.3
TUNNELSPITZEN
.
37
5
UNTERSUCHUNGEN
ANDERER
AUTOREN
39
5.1
KRISTALLSTRUKTUR
.
39
5.2
OBERFLAECHENSTRUKTUR
.
40
5.2.1
STRUKTURMODELLE
ZUR
REKONSTRUKTION
VON
SI(001)
.
44
5.2.2
GRUNDZUSTAND
.
45
5.2.3
OBERFLAECHENSPANNUNG
.
46
5.2.4
VIZINALE
OBERFLAECHE
.
46
5.3
ELEKTRONISCHE
STRUKTUR
.
48
5.4
ADSORPTION
.
48
5.4.1
STM-UNTERSUCHUNGEN
ZUR
ADSORPTION
VON
METALLEN
.
48
5.4.2
STM-UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
MIT
GASPHASENMOLEKUELEN
.
49
5.4.3
ADSORPTION
ORGANISCHER
MOLEKUELE
.
49
INHALTSVERZEICHNIS
5
5.5
OBERFLAECHENDIFFUSION
.
50
6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
51
6.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
GEOMETRISCHEN
STRUKTUR
VON
SI(001)
.
51
6.1.1
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
UND
GEOMETRISCHE
STRUKTUR
.
51
6.1.2
REINE
SI(001)-OBERFLAECHE
.
52
6.1.3
TYPISCHE
VERUNREINIGUNGEN
AUF
SI(001)
.
53
6.1.4
NACHWEIS
VON
/3-SIC-KONTAMINATIONEN
.
59
6.1.5
DER
EINFLUSS
VON
KONTAMINATIONEN
AUF
DIE
TOPOGRAPHIE
.
61
.
6.1.6
ENTSTEHUNGSMODELL
UND
DISKUSSION
DER
KONTAMINATIONSINDUZIERTEN
TOPOGRAPHIE
.
67
6.1.7
REKRISTALLISATION
UNTER
DEM
EINFLUSS
VON
KONTAMINATIONEN
.
70
6.1.8
REKRISTALLISATION
UND
WACHSTUMSFORMEN
.
72
6.1.9
HOCHAUFLOESUNG
UND
REKONSTRUKTIONEN,
NACHWEIS
DER
ASYMMETRISCHEN
(2XL)-REKONSTRUKTION
.
72
6.1.10
DISKUSSION
DER
ASYMMETRISCHEN
(2XL)-REKONSTRUKTION
.
76
6.1.11
ABBILDUNG
NEUER
UND
DETAILBESCHREIBUNG
BEKANNTER
PUNKTDEFEKTE
.
78
6.1.12
MODELL
DER
PUNKTDEFEKTSTRUKTUREN
.
81
6.2
ELEKTRONISCHE
STRUKTUR
VON
SI(001)
.
84
6.2.1
STS
AN
REINEM,
DEFEKTFREIEM
SI(001)(2XL)
.
84
6.2.2
STS
DER
OBERFLAECHENZUSTAENDE
.
85
6.2.3
ARUPS
UND
IPES-LITERATURDATEN
.
86
6.2.4
STS-MESSUNGEN
AN
DER
(2XL)-REKONSTRUKTION
BEI
ATOMARER
AUFLOESUNG
93
6.2.5
DISKUSSION
UND
NACHWEIS
DES
DIMERLADUNGSTRANSFERS
.
98
6.2.6
SPEKTROSKOPISCHE
MESSUNGEN
AN
EINEM
ADSORBATDEFEKT
.
100
6.2.7
DISKUSSION
EINER
INDUZIERTEN
BANDVERBIEGUNG
.
101
6.2.8
SPANNUNGSABHAENGIGE
STM-MESSUNGEN
AN
DEFEKTSTRUKTUREN
.
102
6.2.9
DISKUSSION
DER
DEFEKTSTRUKTUREN
.
105
6.3
STM-UNTERSUCHUNGEN
AN
DEM
SYSTEM
SI(001)-N
2
O
.
106
6.3.1
ADSORPTION
VON
N
2
O
BEI
350
K
.
106
6.3.2
OXIDATIVES
AETZEN
DER
SI(001)-OBERFLAECHE
MIT
N
2
O
.
111
7
ZUSAMMENFASSUNG
114
8
LITERATUR
116
9
ABKUERZUNGEN
132 |
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