Das virtuelle Interferometer - modellgestützte Optimierung:
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Aachen
Shaker
2000
|
| Series: | Berichte aus der Produktionstechnik
2000,15 |
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| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
3
1.
EINLEITUNG
1
2.
MOTIVATION
3
3.
GRUNDLAGEN
UND
STAND
DER
TECHNIK
7
3.1.
LICHT,
OPTIK
UND
OPTISCHE
MESSTECHNIK
7
3.2.
INTERFEROMETRIE
8
3
2.1.
AUFBAU
UND
FUNKTIONSWEISE
VON
LASERINTERFEROMETERN
8
3.2.2.
3D-FORMPRUEFINTERFEROMETRIE
9
3
2.3.
BEGRENZUNG
DES
MESSBEREICHS
14
3.2.4.
SEIDEL-ABERRATIONEN
UND
ZEMIKE-ANALYSE
17
3.3.
METHODEN
ZUR
MESSBEREICHSERWEITERUNG
IN
DER
INTERFEROMETRISCHEN
FORMPRUEFUNG
19
3.3.1
FIZEAU-OBJEKTIVE
ZUR
PRUEFUNG
SPHAERISCHER
FLAECHEN
19
3.3.2.
NULLTESLS
ZUR
PRUEFUNG
VON
KONISCHEN
FLAECHEN
20
3.3.3.
MEHRWELLENLDNGENINTERFEROMETRIE
22
3.3.4.
WEITERE
ANSAETZE
ZUR
INTERFEROMETRISCHEN
ASPHAERENPRUEFUNG
24
3.4.
HANDLUNGSBEDARF
ZUR
SYSTEMOPTIMIERUNG
25
3
4.1.
INTERFEROMETER
FUER
DIE
PLANARITAETS
UND
SPHAERIZITAETSPRUEFUNG
26
3
4.2.
INTERFEROMETER
FUER
DIE
PRUEFUNG
KONISCHER
FLAECHEN
29
3.4.3.
DREIWELLENLAENGENINTERFEROMETRIE
29
4.
OPTIMIERUNGSMETHODEN
33
4.1
UNIVANATE
OPTIMIERUNGSMETHODEN 33
4
2.
MULTIVANATE
OPTIMIERUNGSMETHODEN
34
4.2.1.
STATISTISCHE
VERSUCHSMETHODIK
34
4.2
2.
DIE
SIMPLEX
OPTIMIERUNG
36
4.2.3.
DIE
MODIFIZIERTE
SIMPLEX-OPTIMIERUNG
37
4.2.4.
SIMULATED
ANNEALING
38
4.2.5.
OPTIMIERUNG
MIT
NEURONALEN
NETZEN
39
4.3.
MULTIVANATE
OPTIMIERUNG
MEHRERER
ZIELGROESSEN
DURCH
FUZZY*SETS
41
4.3.1
DEFINITION
EINER
GEMEINSAMEN
ZIELGROESSE
41
4.3.2.
MITGLIEDSCHAFT
UND
EINFLUSS
41
4.3.3.
ADAPTION
AN
DIE
OPTIMIERUNG
IN
DER
FORMPRUEFINTERFEROMETRIE
42
4.4.
ZIELFUNKTIONEN
IN
DER
FORMPRUEFINTERFEROMETRIE
43
4.4.1
OPTIMIERUNG
DURCH
INTERFEROGRAMMANALYSE
44
4.4.2
OPTIMIERUNG
DURCH
MESSDATENAUSWERTUNG
45
4.5.
ZWISCHENFAZIT
46
5.
REALISIERUNG
EINER
UMGEBUNG
ZUR
MODELLGESTUETZTEN
OPTIMIERUNG
IN
DER
INTERFEROMETRISCHEN
FORMPRUEFUNG
47
5.1.
GLOBALE
STRUKTUR
47
5.2.
MODELLGESTUETZTE
INTERFEROGRAMMGENERIERUNG
48
5.2.1.
RAYTRACING-MODUL
HOLOCALC
48
5
2.2.
GENERIERUNG
VON
INTERFEROGRAMMEN
49
5.2.3.
VALIDIERUNG
DURCH
VERGLEICH
MIT
SIGMA2100
50
5.2.4.
SELBSTKONSISTENZTEST
51
5.3.
VIRTUELLE
INTERFEROMETRIE
MIT
MESSSIMULATOR
SIMMES
52
5.4.
INTERFEROMETER-STEUERSOFTWARE
INTOMATIK-N
53
5.4.1.
HARDWAREANSTEUERUNG
54
5.4.2.
ENTFALTUNGSALGORITHMEN
56
5.5.
POLYNOM-FIT
MIT
ZENUKE-KOEFFIZIENTEN
62
5.6.
OPTIMIERUNGSSOFTWARE
OPTIJUST
63
6.
REALISIERUNG
EXPERIMENTELLER
INTERFEROMETRISCHER
MESSSYSTEME
ZUR
ASPHAERENPRUEFUNG
65
6.1.
AUTOMATISIERTE
PRAEZISIONS-POSITIONIERSYSTEME
65
6.2.
FIZEAU
INTERFEROMETER
MIT
PARABOLOID-TEST-MODUL
66
6
3.
FIZEAU
INTERFEROMETER
MIT
HINDLE-TEST-MODUL
68
6.4.
DREIWELLENLAENGEMNTERFEROMETER
68
7.
ANWENDUNGEN
DER
OPTIMIERUNG
IM
VIRTUELLEN
INTERFEROMETER
71
7.1.
JUSTIERUNG
EINES
PLANFLAECHENINTERFEROMETERS
MIT
DEJUSTIERTEM
PRUEFLING
IN
ZWEI
FREIHEITSGRADEN
71
7.1.1
ZIELGROESSE
ZG_FLAECHE
71
7.1.2.
ZIELGROESSE
ZG_DICHTE
72
7.1.3.
ZIELGROESSE
ZG_PV
73
7.1.4.
ZIELGROESSE
FS(ZG_DICHTE,
ZG_FLAECHE)
UNTER
VERWENDUNG
VON
FUZZY-SETS
74
7.2.
JUSTIERUNG
NUT
BACK-PROPAGATION-NETZWERK
74
II
7.3.
JUSTIERUNG
EINES
INTERFEROMETERS
MIT
MESSOBJEKTIV
UND
SPHAERISCHEM
PRUEFLING
76
7.3D.
JUSTIERUNG
DES
SPHAERISCHEN
PRUEFLINGS
IN
DREI
FREIHEITSGRADEN
76
7.3.2.
JUSTIERUNG
VON
SPHAERISCHEM
PRUEFLING
UND
MESSOBJEKTIV
IN
SECHS
FREIHEITSGRADEN
78
7.3.3.
SIMULATED
ANNEALING
79
7.4.
JUSTIERUNG
VON
PARABOLOID
UND
HYPERBOLOIDTEST
MIT
STATISTISCHER
VERSUCHSMETHODIK
81
7.5.
JUSTIERUNG
DES
PARABOLOIDTESTS
IN
SECHS
FREIHEITSGRADEN
83
7
6
JUSTIERUNG
DES
HYPERBOLOID-TESTS
IN
SECHS
FREIHEITSGRADEN
85
7.7.
MODELLGESTUETZTE
ITERATIVE
ABERRATIONSKORREKTUR
NACH
TUTSCH
86
8.
ANWENDUNG
DER
OPTIMIERUNG
IN
REALEN
INTERFEROMETERN
89
8.1.
JUSTIERUNG
EINES
FIZEAU-INTERFEROMETERS
MIT
MESSOBJEKTIV
UND
SPHAERISCHEM
PRUEFLING
89
8.1.1.
BILDAUFBEREITUNG
ZUR
ERMITTLUNG
GEEIGNETER
ZIELGROESSEN
89
8.1.2.
ERGEBNISSE
DER
JUSTIERUNG
MIT
ZIELGROESSE
ZG_FLAECHE
90
8.1.3.
ERGEBNIS
DER
JUSTIERUNG
MIT
SIMULATED
ANNEALING
UND
ZIELGROESSE
FS(ZG_FLAECHE,
ZG_DICHTE)
91
8.2.
JUSTIERUNG
IM
ALIGNMENT-MODE
92
8.3.
JUSTIERUNG
EINES
INTERFEROMETNSCHEN
PARABOLOIDTESTS
93
8.3.1.
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
93
8
3.2.
JUSTIERUNG
VON
KOMPENSATIONSSPHAERE
UND
PRUEFLING
MIT
SECHS
TRANSLATORISCHEN
FREIHEITSGRADEN
94
8.4.
JUSTIERUNG
EINES
HINDLE-TESTS
FUER
HYPERBOLOIDEN
95
8.4.1.
JUSTIERUNG
IM
MODULAREN
INTERFEROMETER
MIT
SECHS
TRANSLATORISCHEN
FREIHEITSGRADEN
95
8
4.2.
JUSTIERUNG
IM
WYKO
6000
LASER-INTERFEROMETER
MIT
ZEHN
FREIHEITSGRADEN
96
9.
OPTIMIERUNG
DER
DREIWELLENLAENGENINTERFEROMETRIE
99
9.1.
DARSTELLUNG
DES
HANDLUNGSBEDARFS
ZUR
OPTIMIERUNG
IM
VIRTUELLEN
INTERFEROMETER
99
9
2.
DIE
OPTIMIERTE
AUSWERTUNG
DURCH
DREIWELLENLAENGENINTERFEROMETRIE
101
9.2.1.
BESCHREIBUNG
DER
OFFSET-PROBLEMATIK
102
9.2.2.
METHODE
DER
ENTFALTUNG
DES
BESTWERTES
103
9.3.
VERGLEICH
ZWISCHEN
REALER
UND
VIRTUELLER
MESSUNG
105
9.4.
ERGEBNISSE
VON
MESSUNGEN
AN
ASPHAEREN
MIT
DREIWELLENLAENGENINTERFEROMETRIE
106
10.
AUSBLICK
AUF
ZUKUENFTIGE
ANWENDUNGEN
109
10.1.
STANDARDISIERUNG
VON
INTERFEROMETERN
109
10.1.1.
HANDLUNGSBEDARF
IM
RAHMEN
VON
ZERTIFIZIERUNGSMASSNAHMEN
109
10.1.2
KAHBRIERKOERPER
UND
ABSOLUTMESSUNG
110
10.2.
LITHOGRAPHIEOBJEKTIVE
110
III
10.2.1.
STAND
DER
TECHNIK
10.2.2
EUV-LITHOGRAPHIE
10.2.3
PROBLEMATIK
DES
EINSATZES
VON
UV
UND
EUV-LASERQUELLEN
110
HL
112
11.
ZUSAMMENFASSUNG
115
12.
LITERATUR
119
12
1.
FREMDE
VEROEFFENTLICHUNGEN
119
12.2.
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
124
APPENDIX
1:
SEIDEL-ABERRATIONEN
UND
ZERNIKE-POLYNOME
127
DIE
SEIDEL-ABERRATIONEN
127
DIE
ZERNIKE-POLYNOME
128
APPENDIX
2:
THEORETISCHE
ANALYSE
DER
DREIWELLENLAENGENINTERFEROMETRIE
131
LEBENSLAUF
139
IV |
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| series | Berichte aus der Produktionstechnik |
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