Untersuchungen zur Plasma- und Ionenstrahlbehandlung von Polymersubstraten:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Beschreibung: | Magdeburg, Univ., Diss., 1996 |
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GLIEDERUNG
SEITE
1.
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
UND
ERGEBNISSE
BISHER
DURCHGEFUEHRTER
UNTERSUCHUNGEN
4
2
1
EIGENSCHAFTEN
UND
NOTWENDIGKEIT
DER
VORBEHANDLUNG
VON
POLYMER
OBERFLAECHEN
4
2
2
PLASMA
UND
LONENSTRAHLBEHANDUNG
VON
POLYMEROBERFLAECHEN
5
2.2.1
GRUNDLAGEN
ZUR
WECHSELWIRKUNG
DER
ELEKTRISCH
GELADENEN
PARTIKEL
DES
PLASMAS
MIT
DEM
SUBSTRAT
5
2.2
2
VERFAHREN
ZUR
PLASMA
UND
LONENSTRAHLBEHANDLUNG
10
2.2.3
DURCH
PLASMA
UND
LONENSTRAHLEINWIRKUNG
AN
POLYMEROBERFLAECHEN
BEWIRKTE
EFFEKTE
11
2.2.3.1
CHEMISCHE
FUNKTIONALISIERUNG
11
2
2
3.2
KETTENSPALTUNG
UND
VERNETZUNG
13
2.2.3
3
AETZABTRAG
UND
VERAENDERUNG
DER
OBERFLACHENMORPHOLOGIE
14
2
2
34
BENETZBARKEIT
UND
OBERFLAECHENSPANNUNG
15
2.2.3
5
NUKLEATIONSVERHALTEN
VON
AUFDAMPFSCHICHTEN
16
2.2.36
INTERFACE
UND
SCHICHTHAFTUNG
16
3.
METHODISCHE
GRUNDLAGEN
19
3
1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
19
3
1.1
DIE
LABORANLAGE
FUER
VORBEHANDLUNG
UND
BESCHICHTUNG
19
3
1.2
DAS
VAKUUMSYSTEM
20
3.1.3
AUFBAU
UND
FUNKTION
DER
MIKROWELLEN-ECR-PLASMAQUELLE
RR
250
PO
20
3.1.4
AUFBAU
UND
FUNKTION
DER
15CM-HF-LONENSTRAHLQUELLE
22
3.1.5
DIE
BESCHICHTUNGSQUELLEN
24
3.1
6
DIE
FOLIEN-HALTERUNG
27
3.2
MESSSYSTEME
UND
MESSVERFAHREN
27
3.2.1
LANGMUIRSONDEN-MESSUNGEN
ZUR
BESTIMMUNG
DER
PLASMAPARAMETER
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
UND
ELEKTRONENENERGIE
27
3.2.2
GEGENFELDANALYSATOR
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DES
LONENSTRAHLS
32
32
3
TEMPERATURMESSUNGEN
ZUR
BESTIMMUNG
DES
WAERMEEINTRAGES
IN
DAS
SUBSTRAT
33
3.2.4
AKTINOMETNE
ZUR
BESTIMMUNG
DER
RELATIVEN
KONZENTRATION
VON
ATOMAREM
SAUERSTOFF
IN
ARGON-SAUERSTOFF-MISCHPLASMEN
36
3.2
5
KONTAKTWINKELMESSUNGEN
ZUR
BESTIMMUNG
DER
FREIEN
OBERFLACHENENERGIE
37
SEITE
3
2.6
LEITFAEHIGKEITSMESSUNGEN
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DES
NUKLEATIONS
VERHALTENS
AUFGESTAEUBTER
SCHICHTEN
39
3
2
7
PEELTEST
ZUR
BESTIMMUNG
DER
SCHICHTHAFTUNG
40
4
ERGEBNISSE
43
4.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
MITTELS
ECR-PLASMAQUELLE
RR
250
PQ
ERZEUGBAREN
PLASMAS
43
4.1.1
BEMERKUNGEN
ZUR
ABHAENGIGKEIT
DER
LADUNGSTRAGERKONZENTRATION
N
0
UND
DER
ELEKTRONENENERGIE
(KT
E
)
VON
DER
ANWESENHEIT,
VON
DER
ART
UND
VOM
POTENTIAL
EINES
/
DES
SUBSTRATS
43
4
1.2
ABHAENGIGKEIT
DER
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
N
0
UND
DER
ELEKTRONEN
ENERGIE
(KT
E
)
VON
DER
GASART
UND
VOM
GASDRUCK
45
4
1
3
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION,
ELEKTRONENENERGIE
UND
RELATIVE
KONZEN
TRATION
VON
ATOMAREM
SAUERSTOFF
IM
ARGON-SAUERSTOFF-MISCHGASPLASMA
53
4.1
4
EINFLUSS
DER
STAERKE
DES
MAGNETFELDES
AUF
DIE
LADUNGSTRAEGERKONZEN
TRATION
N
0
UND
DIE
ELEKTRONENENERGIE
(KT
E
)
57
4.1
5
ABHAENGIGKEIT
VON
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
UND
ELEKTRONENENERGIE
VON
DER
POSTION
QUER
ZUR
SYMMETRIEACHSE
DER
PLASMAQUELLE
59
4.1.6
WARMEEINTRAG
AUS
DEM
PLASMA
IN
DAS
SUBSTRAT
62
4.1.7
EXTRAKTION
VON
IONEN
AUS
EINEM
PLASMA
DURCH
MF-SUBSTRATBIAS
65
4.2
CHARAKTERISIERUNG
DES
MIT
DER
15
CM
HF-IONENSTRAHLQUELLE
ERZEUGBAREN
LONENSTRAHLS
70
4.2
1
SONDENMESSUNGEN
IN
DER
PLASMAKAMMER
71
4.2.2
CHARAKTERISIERUNG
DES
LONENSTRAHLS
76
4
2
2
1
MESSUNGEN
UNMITTELBAR
VOR
DEM
EXTRAKTIONSSYSTEM
76
4.2.2.2
MESSUNGEN
IN
DER
SUBSTRATEBENE
/
ARGON
79
4
2
2
3
MESSUNGEN
IN
DER
SUBSTRATEBENE
/
SAUERSTOFF
87
4
3.
ERGEBNISSE
DER
PLASMA
UND
LONENSTRAHLBEHANDLUNG
VON
OPP-,
PET
UND
ACRYLATBESCHICHTETER
PET-FOLIE
92
4.3.1
EINFLUSS
DER
PLASMA
UND
LONENSTRAHLVORBEHANDLUNG
AUF
DIE
FREIE
OBERFLAECHENENERGIE
DER
BEHANDELTEN
KUNSTSTOFFOLIEN
93
4
3
2
EINFLUSS
DER
VORBEHANDLUNG
AUF
DIE
OPTISCHE
TRANSPARENZ
DER
KUNSTSTOFFOLIEN
102
4.3
3
EINFLUSS
DER
PLASMA
UND
LONENSTRAHL-VORBEHANDLUNG
VON
OPP-FOLIE
AUF
DAS
AUFWACHSVERHALTEN
GESPUTTERTER
KUPFERSCHICHTEN
104
SEITE
4.3.4
EINFLUSS
DER
PLASMA
UND
LONENSTRAHLBEHANDLUNG
AUF
DIE
HAFTFESTIGKEIT
VON
PVD-SCHICHTEN
AUF
POLYMER-FOLIEN
107
5
ZUSAMMENFASSUNG,
SCHLUSSFOLGERUNGEN
UND
AUSBLICK
121
5.1
PLASMAQUELLE
121
52
LONENSTRAHLQUELLE
123
5.3
VORBEHANDLUNG,
OBERFLAECHENMODIFIZIERUNG
UND
SCHICHTHAFTUNG
125
6
LITERATURVERZEICHNIS
ANHANG
LEBENSLAUF
(TABELLARISCH) |
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