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    Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten beim chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie

    Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten beim chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie von Meyer, Frank Christian

    Veröffentlicht 2004
    Abschlussarbeit Buch Fernleihe Bestellen


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    Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten bei chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie

    Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten bei chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie von Meyer, Frank Christian

    Veröffentlicht 2004
    Abschlussarbeit Buch Fernleihe Bestellen


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