Untersuchung von organischen fluorierten Kohlenwasserstoff-CVD-Plasmaschichten als Intermetalldielektrika in der Mikroelektronik:
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
.
3
KAPITEL
2
DIE
EIGENSCHAFTEN
VON
DIELEKTRIKA
MIT
NIEDRIGER
DIELEKTRIZITAETSKONSTANTE
.
7
2.1
DIE
THEORIE
DER
DIELEKTRIZITAETSKONSTANTEN
UND
MATERIALTHEORETISCHE
VORUEBERLEGUNGEN
.
7
2.1.1
DIE
MAXWELL-RELATION
.8
2.1.2
DIE
WAHL
DER
MATERIALKLASSE
.
9
2.1.3
SIMULIERTE
POLYMERSTRUKTUREN
.
10
2.1.4
UMWELT
UND
BIOVERTRAEGLICHKEIT
.
13
2.1.5
THEORETISCHE
GRENZEN
.
13
2.2
DIE
PROZESSTECHNOLOGISCHEN
UEBERLEGUNGEN
-
ABSCHEIDEVERFAHREN
UND
PROBENPRAEPARATION
.
14
2.2.1
PLASMAABGESCHIEDENE
SCHICHTSYSTEME
-
PROZESSBESCHREIBUNG
.
14
2.2.2
RADIOFREQUENZ
UND
MIKROWELLEN
PLASMEN
.
18
2.2.3
DIE
POTENTIALDIFFERENZ
YYSELF-BIAS-SPANNUNG
"
.20
2.2.4
DIE
UNTERSUCHTEN
PROBEN
UND
DEREN
HERSTELLUNG
.22
2.3
SIGNALVERZOEGERUNGEN
IN
DER
VERDRAHTUNGSEBENE
.
23
2.3.1
KAPAZITAETEN
UND
WIDERSTAENDE
VON
LEITUNGSBAHNEN
.23
2.3.2
PROZESSINTEGRATION
-
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
INTERMETALLDIELEKTRIKUM
.25
KAPITEL3
DIE
MESSMETHODEN
.
27
3.1
DIE
SCHICHTDICKENMESSUNG
.
27
3.2
DIE
KAPAZITAETSMESSUNG
-
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
28
3.2.1
I
MPEDANZSPEKTROSKOPIE
.29
3.2.2
MATHEMATISCHE
DARSTELLUNG
DER
IMPEDANZ
.29
3.2.3
AUSWERTUNG
.33
3.3
WEITERE
GRUNDCHARAKTERISIERUNGEN
.34
3.3.1
DIE
FOURIERTRANSFORMATIONS-INFRAROT-SPEKTROSKOPIE
.34
3.3.2
DIE
ULTRAVIOLETT-SPEKTROSKOPIE
.
36
3.3.3
DIE
ENERGIE-DISPERSIVE-ROENTGENANALYSE
.
36
3.3.4
DIE
THERMOGRAVIMETRIE
.
37
3.3.5
DIE
STRESSBESTIMMUNG
.38
2
INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL
4
DIE
MESSERGEBNISSE
.
41
4.1
SCHICHTDICKEN
.
41
4.1.1
DIE
DEPOSITIONSRATE
.
41
4.1.2
EINFLUSS
DER
FLUORIERUNG
MIT
OKTAFLUORZYKLOBUTAN
.
45
4.1.3
STEIGERUNG
DER
DEPOSITIONSRATE
MIT
AZETHYLEN
.50
4.1.4
EINE
METHODE
ZUR
VORHERSAGE
UEBER
SCHICHTBILDUNGSPROZESSE
IM
REZIPIENTEN
.
51
4.1.5
DIE
THERMISCHE
STABILITAET
DER
SCHICHTEN
.53
4.1.6
DER
THERMISCHE
ABBAU
.
55
4.1.7
EINE
METHODE
FUER
DIE
ZEITAUFGELOESTE
ANALYSE
DER
SCHICHTDEGRADATION
.
59
4.1.8
POSTPLASMAREAKTIONEN
-
DER
PROZESS
DER
NACHOXIDATION
.
61
4.1.9
ERGEBNISSE
AUS
UNTERSUCHUNGEN
DES
STRESSES
.
64
4.2
DIE
DIELEKTRISCHEN
EIGENSCHAFTEN
DER
SCHICHTEN
.67
4.2.1
HYDROKARBONSCHICHTEN
.69
4.2.2
FLUORKARBONSCHICHTEN
.70
4.2.3
HYDROFLUORKARBONSCHICHTEN
.
71
4.3
SCHRITTE
ZUM
IDEALEN
INTERMETALLDIELEKTRIKUM
.72
DIE
ZUSAMMENFASSUNG
.
76
LITERATURVERZEICHNIS
.
77
DANKSAGUNG
.
89
LEBENSLAUF
.91 |
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