Fourierspektroskopie an pseudomorphen Si/SiGe-Heterostrukturen:
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1995
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG.
1
1.
FOURIERSPEKTROSKOPIE
.
3
1.1
GRUNDLAGEN
DER
FOURIERSPEKTROSKOPIE
.
4
1.1.1
MATHEMATISCHE
GRUNDLAGEN
.
4
1
1.2
AUFLOESUNG
UND
APODISATION
.
8
1.13
ABTASTEN
UND
DIGITALISIERUNG
DES
INTERFEROGRAMMS
.
14
1
2
MESSMETHODEN
UND
VERSUCHSAUFBAU
.
20
1.2.1
VERGLEICH
VON
FOURIER
MIT
GITTERSPEKTROMETEM
.
20
1.2
2
INTERFEROMETER
BORNERN
DA
8
2
.
24
1.2.3
PHOTO
UND
ELEKTROLUMINESZENZ
.
29
1.2.4
ABSORPTION
UND
PHOTOLEITFAHIGKEIT
.
34
2
VERSPANNTE
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
38
2.1
PHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
UNVERSPANTEM
SIGE
.
38
2.1
1
BANDSTRUKTUR
UND
BANDLUCKE
.
38
2.1
2
PHONONENDISPERSION
UND
WEITERE
MATERIALEIGENSCHAFTEN
.
41
2.2
PSEUDOMORPHE
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
43
2.2.1
PSEUDOMORPHES
WACHSTUM
UND
RELAXATION
.
43
2
2.2
EINFLUSS
DER
VERSPANNUNG
AUF
DIE
BANDSTRUKTUR
.
44
2.2.3
BANDKANTENDISKONTINUITATEN
AN
SI/SIGE-GRENZFLAECHEN
.
49
2.3
DEFORMATIONSPOTENTIALTHEORIE
.
52
2.3.1
VERZERRUNG
IN
PSEUDOMORPHEN
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
52
2.3.2
AUFSPALTUNG
UND
VERSCHIEBUNG
DES
LEITUNGSBANDES
.
53
2
3.2
AUFSPALTUNG
UND
VERSCHIEBUNG
DES
VALENZBANDES
.
55
2.3.3
HYDROSTATISCHE
VERSCHIEBUNG
VON
VALENZ
UND
LEITUNGSBAND
.
56
3
PHOTOLUMINESZENZ
VON
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
58
3.1
MERKMALE
VON
SI/SIGE-LUMINESZENZSPEKTREN
.
58
3.1
1
SIGE-BANDKANTENLUMINESZENZ
.
59
3.1.2
TIEFE
LUMINESZENZ
.
64
3.1.3
LOKALISIERTE
EXZITONEN
.
71
3.2
SI/SIGE/SI-QUANTENTOPFE
.
73
3.2.1
RECHTECKQUANTENTOEPFE
.
73
3
2
2
ABWEICHUNGEN
VOM
RECHTECKPOTENTIAL
.
76
3.2.3
BANDVERBIEGUNG
UND
EXZITONENBINDUNGSENERGIE
.
79
SEITE
II
3.3
TEMPERUNG
VERSPANNTER
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
84
3.3.1
RELAXATION
DICKER
SIGE-SCHICHTEN
.
84
3.3.2
GE-DIFIUESION
IN
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
87
3.3.3
ERHOEHUNG
DER
LUMINESZENZINTENSITAET
.
93
3.4
VARIATION
AEUSSERER
PARAMETER
.
96
3.4.1
VARIATION
DER
ANREGUNGSLEISTUNG
.
96
3.4.1
VARIATION
DER
ANREGUNGSWELLENLAENGE
.
101
3.4.1
VARIATION
DER
PROBENTEMPERATUR
.104
3.5
PSEUDOMORPHE
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
UNTER EXTERNEM,
UNIAXIALEM
DRUCK.
109
3.5.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
109
3.5.2
VERZERRUNG
UND
ENERGIEVERSCHIEBUNG
.
113
3.5.3
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
MIT
DICKEN
SIGE-SCHICHTEN
.
118
3.5.4
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
MIT
DUENNEN
SIGE-SCHICHTEN
.
121
3.5.5
SELBSTKONSISTENTE
BERECHNUNGEN
UND
INTERPRETATION
DER
ERGEBNISSE
.
130
4
ELEKTROLUMINESZENZ
VON
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.138
4.1
STRUKTURIERUNG
UND
KONTAKTIERUNG
.
138
4.2
VERSCHIEDENE
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
.
142
4.3
LUMINESZENZUNTERSUCHUNGEN
.
147
4.3.1
VERGLEICH
ELEKTRO-/PHOTOLUMINESZENZ
.147
4.3.2
VARIATION
DER
PROBENTEMPERATUR
.
151
4.3.3
AUSWERTUNG
VON
EL-SPEKTREN
BEI
HOHEN
PROBENTEMPERATUREN
.
160
5
PHOTOSTROMMESSUNGEN
.168
5.1
ABSORPTION
UND
PHOTOSTROMMESSUNGEN
.169
5.2
VERGLEICH
ZWISCHEN
ELEKTROLUMINESZENZ
UND
PHOTOSTROMSPEKTREN
.172
5.3
AUSWERTUNG
VON
PHOTOSTROMSPEKTREN
.
173
ZUSAMMENFASSUNG.
.
_.,.179
ANHANG
A,
MATERIALPARAMETER
VON
SI,
GE
UND
SI/SIGE-HETEROSTRUKTUREN
.
182
ANHANG
B,
STRUKTURDATEN
DER
SI/SIGE-PROBEN
.
183
LITERATURVERZEICHNIS
.
186
SEITE
III |
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