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Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung von Mohr, Jürgen, Ehrfeld, Wolfgang 1938-, Münchmeyer, Dietrich
Veröffentlicht 1988Signatur: Wird geladen …
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Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Becker, Erwin W. 1920-2011, Ehrfeld, Wolfgang 1938-, Münchmeyer, Dietrich
Veröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Münchmeyer, Dietrich
Veröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndrüsenelemente von Münchmeyer, Dietrich
Veröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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