Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | 145 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014011737 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20020905 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 011119s2001 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962888915 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)248045312 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014011737 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UQ 2100 |0 (DE-625)146483: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Mühe, Andreas |d 1970- |e Verfasser |0 (DE-588)123278880 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren |c von Andreas Mühe |
| 264 | 1 | |c 2001 | |
| 300 | |a 145 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 4 | |a Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion | |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Czochralski-Verfahren |0 (DE-588)4148717-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Getterung |0 (DE-588)4157223-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Czochralski-Verfahren |0 (DE-588)4148717-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Getterung |0 (DE-588)4157223-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009593563&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009593563 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807319726514241536 |
|---|---|
| adam_text |
I
NHALT
Z
USAMMENFASSUNG
3
A
BSTRACT
6
1
E
INLEITUNG
9
1.1
DIE
ZUECHTUNG
VON
SILICIUM-EINKRISTALLEN
NACH
DEM
CZOCHRALSKI
VERFAHREN
10
1.2
DIE
BEDEUTUNG
DES
SAUERSTOFF-TRANSPORTS
13
1.3
ZIELSETZUNG
UND
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
19
2
S
AUERSTOFF
-T
RANSPORT
AN
DEN
G
RENZFLAECHEN
DER
S
ILICIUM
-S
CHMELZE
21
2.1
AUFLOESUNG
DES
QUARZGLAS-TIEGELS
21
2.1.1
KENNTNISSTAND
ZUR
LOESLICHKEIT
VON
SAUERSTOFF
IN
SILICIUM
SCHMELZE
23
2.1.2
KENNTNISSTAND
ZUR
AUFLOESUNGSRATE
VON
SIO
2
IN
SILICIUM
SCHMELZE
26
2.1.3
IN-SITU
MESSUNG
DER
AUFLOESUNGSRATE
VON
SIO
2
IN
SILICIUM
SCHMELZE
MIT
LASER-INTERFEROMETRIE
29
2.2
ABDAMPFEN
VON
SIO
VON
DER
FREIEN
SCHMELZOBERFLAECHE
42
2.3
SEGREGATION
AN
DER
PHASENGRENZE
51
2
INHALT
3
S
AUERSTOFF
-T
RANSPORT
IM
S
CHMELZVOLUMEN
59
3.1
KONVEKTIVER
WAERME-UND
SAUERSTOFF-TRANSPORT
60
3.2
IN-SITU
MESSUNG
DER
SAUERSTOFF-KONZENTRATION
MIT
ELEKTROCHEMISCHEN
POTENZIALSONDEN
73
3.3
VERGLEICH
GEMESSENER
SAUERSTOFF-VERTEILUNGEN
MIT
NUMERISCHER
SIMULATION
94
4
S
AUERSTOFF
-T
RANSPORT
IM
G
ASRAUM
99
4.1
ELEKTROCHEMISCHE
POTENZIALSONDEN
FUER
DEN
GASRAUM
101
4.2
INDIREKTE
MESSUNG
DER
SIO-KONZENTRATION
IM
GAS
108
4.3
DER
EINFLUSS
DER
INERTGASPARAMETER
AUF
DIE
SAUERSTOFF
KONZENTRATION
IM
KRISTALL
114
5
E
NTWICKLUNG
EINES
M
ESSSYSTEMS
ZUR
S
AUERSTOFF
-
R
EGELUNG
123
5.1
BEREITSTELLUNG
EINER
SAUERSTOFF-KORRELIERTEN
MESSGROESSE
IN
ECHTZEIT
123
5.2
KONZEPT
ZUR
SAUERSTOFF-REGELUNG
126
6
B
EWERTUNG
UND
A
USBLICK
129
7
L
ITERATURVERZEICHNIS
131
A
NHANG
142 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Mühe, Andreas 1970- |
| author_GND | (DE-588)123278880 |
| author_facet | Mühe, Andreas 1970- |
| author_role | aut |
| author_sort | Mühe, Andreas 1970- |
| author_variant | a m am |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014011737 |
| classification_rvk | UQ 2100 |
| ctrlnum | (OCoLC)248045312 (DE-599)BVBBV014011737 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014011737</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20020905</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">011119s2001 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962888915</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)248045312</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014011737</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146483:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mühe, Andreas</subfield><subfield code="d">1970-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123278880</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren</subfield><subfield code="c">von Andreas Mühe</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">145 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Czochralski-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148717-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Getterung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157223-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Czochralski-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148717-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Getterung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157223-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009593563&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009593563</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014011737 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T00:13:23Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009593563 |
| oclc_num | 248045312 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 |
| physical | 145 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| record_format | marc |
| spelling | Mühe, Andreas 1970- Verfasser (DE-588)123278880 aut Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren von Andreas Mühe 2001 145 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd rswk-swf Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd rswk-swf Czochralski-Verfahren (DE-588)4148717-5 gnd rswk-swf Getterung (DE-588)4157223-3 gnd rswk-swf Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Czochralski-Verfahren (DE-588)4148717-5 s Getterung (DE-588)4157223-3 s Sauerstoff (DE-588)4051803-6 s Störstelle (DE-588)4193400-3 s Diffusion (DE-588)4012277-3 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009593563&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Mühe, Andreas 1970- Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Czochralski-Verfahren (DE-588)4148717-5 gnd Getterung (DE-588)4157223-3 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4051803-6 (DE-588)4012277-3 (DE-588)4148717-5 (DE-588)4157223-3 (DE-588)4193400-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren |
| title_auth | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren |
| title_exact_search | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren |
| title_full | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren von Andreas Mühe |
| title_fullStr | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren von Andreas Mühe |
| title_full_unstemmed | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren von Andreas Mühe |
| title_short | Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren |
| title_sort | uber den sauerstoff transport bei der industriellen silicium kristallzuchtung nach dem czochralski verfahren |
| topic | Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Czochralski-Verfahren (DE-588)4148717-5 gnd Getterung (DE-588)4157223-3 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| topic_facet | Silicium - Czochralski-Verfahren - Getterung - Sauerstoff - Störstelle - Diffusion Silicium Sauerstoff Diffusion Czochralski-Verfahren Getterung Störstelle Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009593563&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT muheandreas uberdensauerstofftransportbeiderindustriellensiliciumkristallzuchtungnachdemczochralskiverfahren |