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Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV Ni-Implantation in Silizium von Lindner, Jörg K. N.
Veröffentlicht 1989Signatur: Wird geladen …Volltext öffnen
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Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV Ni-Implantation in Silizium von Lindner, Jörg K. N.
Veröffentlicht 1989Signatur: Wird geladen …
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