Thermische und thermophysikalische Eigenschaften von elektronenstrahlgedampften chemisch gradierten Al 2 O 3 -PYSZ-Wärmedämmschichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
615 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
1
2
WAERMEDAEMMSCHICHTEN
4
2.1
ANFORDERUNGEN
AN
WAERMEDAEMMSCHICHTEN
.
4
2.2
DUPLEX-SCHICHTSYSTEME
.
5
2.3
DIE
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
7
2.3.1
DAS
PLASMASPRITZ-VERFAHREN
.
7
2.3.2
DAS
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFUNGSVERFAHREN
.
9
2.3.2.1
DAS
PRINZIP
DER
EB-PVD-BESCHICHTUNG
.
9
2.3.2.2
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
DES
EB-PVD-VERFAHRENS
.
10
2.3.2.3
DIE
MIKROSTRUKTUR
VON
PVD-SCHICHTEN
.
12
2.3.2.4
HERSTELLUNG
VON
WAERMEDAENUNSCHICHTEN
MITTELS
EB-PVD
.
14
2.3.2.5
MIKROSTRUKTUR
UND
EIGENSCHAFTEN
DER
EB-PVD-WAERMEDAEMM
SCHICHTEN
.
15
2.4
SCHAEDIGUNGSMECHANISMEN
.
18
2.5
FORTSCHRITTLICHE
WDS-KONZEPTE
.
21
2.6
PRAEZISIERUNG
DER
AUFGABENSTELLUNG
.
22
3
THERMOPHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
OXIDE
25
3.1
BINAERE
UND
TERNAERE
PHASENSYSTEME
.
25
3.1.1
PHASEN
UND
STABILISIERUNG
DES
ZIRKONOXIDS
.
25
3.1.2
YTTRIUMOXID-STABILISIERTES
ZIRKONOXID
.
27
3.1.3
PHASEN
DES
AI2O3
.
30
3.1.4
DIE
PHASENSYSTEME
A12O3-ZRO2
UND
A12O3-ZRO2-Y2O3
.
32
3.2
WAERMELEITFAEHIGKEIT
.
34
3.2.1
THEORETISCHER
HINTERGRUND
.
34
3.2.2
WAERMELEITFAEHIGKEITEN
VON
PYSZ
UND
AI2O3
.
36
3.3
EMISSIONS
UND
TRANSMISSIONSEIGENSCHAFTEN
.
38
3.3.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
38
4
EXPERIMENTELLE
METHODEN
41
4.1
PROBENHERSTELLUNG
.
41
4.1.1
PROBENGEOMETRIEN
UND
SUBSTRATE
.
41
4.1.2
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFUNG
VON
METALL
UND
KERAMIK
.
41
4.1.2.1
AUFDAMPFEN
VON
STANDARD-PYSZ-SCHICHTEN
.
42
4.1.2.2
AUFDAMPFEN
VON
AI2
OS-ZWISCHENSCHICHTEN
.
43
4.1.2.3
SPRINGSTRAHLVERDAMPFUNG
VON
AHOS-PYSZ-SCHICHTEN
.
44
4.1.3
MAGNETRON-SPUTTERN
VON
AI2O3
.
47
4.1.4
GLUEHBEHANDLUNGEN
.
47
4.2
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
48
4.2.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
UND
EDX-ANALYSE
.
48
4.2.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
49
4.2.3
QUALITATIVE
ROENTGENFEINSTRUKTURANALYSE
.
49
4.2.4
ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
.
50
4.2.5
ZYKLISCHE
THERMOWECHSELVERSUCHE
.
50
4.2.6
THERMOGRAVIMETRIE
.
51
4.2.7
MESSUNG
DER
SPEZIFISCHEN
WAERMEKAPAZITAET
.
52
4.2.8
MESSUNG
DER
TEMPERATMLEITFAEHIGKEIT
.
53
4.2.8.1
GRUNDLAGEN
.
53
4.2.8.2
DAS
MESSPRINZIP
.
54
4.2.8.3
RANDBEDINGUNGEN
UND
AUSWERTUNG
.
55
4.2.8.4
MESSUNGEN
AN
SCHICHTSYSTEMEN
.
59
4.2.8.5
FEHLERABSCHAETZUNG
.
60
4.2.8.6
PRAEPARATIVE
MASSNAHMEN
.
61
4.2.9
EMISSIONS
UND
TBANSMISSIONSMESSUNGEN
.
61
5
ERGEBNISSE
63
5.1
MIKROSTRUKTUR
UND
PHASENAUSBILDUNG
.
63
5.1.1
AUFGEDAMPFTE
A^OS-SCHICHTEN
.
63
5.1.2
AUFGESPUTTERTE
ALSOS-SCHICHTEN
.
66
5.1.3
HOMOGENE
AHOJ-PYSZ-SCHICHTEN
.
68
5.1.4
GRADIERTE
A^OS-PYSZ-SCHICHTEN
.
73
5.2
THERMISCHE
ALTERUNG
DER
SCHICHTSYSTEME
.
80
5.2.1
THERMOWECHSELTESTS
.
80
5.2.2
THERMOGRAVIMETRIE
.
82
5.2.3
VERAENDERUNG
DER
MIKROSTRUKTUR
NACH
THERMISCHER
ALTERUNG
.
85
5.2.3.1
DAS
DUPLEX-SCHICHTSYSTEM
.
87
5.2.3.2
DIE
IHPLEX-SCHICHTSYSTEME
.
89
5.2.3.3
DIE
GRADIERTEN
SCHICHTSYSTEME
.
93
5.3
MESSUNG
DER
SPEZIFISCHEN
WAERMEKAPAZITAET
.
97
5.4
BESTIMMUNG
DER
THERMISCHEN
WIDERSTAENDE
.
99
5.4.1
WAERMELEITFAEHIGKEITEN
FUER
SUBSTRATWERKSTOFFE
UND
ZIRKONOXID
.
99
5.4.2
WAERMELEITFAEHIGKEITEN
VON
ALSOS-PYSZ-SINTERWERKSTOFFEN
.
101
5.4.3
WAERMELEITFAEHIGKEITEN
UND
KONTAKTWIDERSTAENDE
DER
SCHICHTSYSTEME
.
.
.
103
VI
5.4.3.1
HOMOGENE
ALAOA-PYSZ-MISCHOXIDSCHICHTEN
.
103
5.4.3.2
IRIPLEX
UND
GRADIERTE
SCHICHTSYSTEME
.
105
5.5
STRAHLUNGSEIGENSCHAFTEN
DER
SCHICHTSYSTEME
.
107
5.5.1
STANDARD-DUPLEX-SCHICHTSYSTEME
.
107
5.5.2
IHPLEX
UND
GRADIERTE
SCHICHTSYSTEME
.
110
6
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
114
6.1
SCHICHTVERSAGEN
WAEHREND
DER
BESCHICHTUNG
.
114
6.2
MIKROSTRUKTUR
UND
PHASENBILDUNG
.
115
6.2.1
IHPLEX-SYSTEME
MIT
DISKRETER
ALAOA-SCHICHT
.
115
6.2.2
HOMOGENE
ALAOA-PYSZ-SYSTEME
.
116
6.2.3
GRADIERTE
ALAOA-PYSZ-SCHICHTSYSTEME
.
126
6.3
THERMOZYKLEN,
OXIDATION
UND
THERMISCHE
ALTERUNG
.
126
6.3.1
THERMOWECHSELVERHALTEN
.
126
6.3.2
YTTRIUMREICHE
AUSSCHEIDUNGEN
UND
OXIDPFLOECKE
IM
TGO
.
134
6.3.3
OXIDATION
.
137
6.4
WAERMELEITFAEHIGKEITEN
UND
KONTAKTWIDERSTAENDE
.
141
6.5
EMISSION
UND
TRANSMISSION
VON
STRAHLUNG
.
145
6.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
152
6.6.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
152
6.6.2
AUSBLICK
.
154
A
PHYSIKALISCHE
DATEN
DER
OXIDE
157
B
DAS
TERNAERE
PHASENSYSTEM
ALAOA-ZROA-YAOA
159
C
SUBSTRATMATERIALIEN
161
D
MATERIALKONSTANTEN
FUER
LASER-FLASH
162
E
ZWEITIEGEL-VERDAMPFUNG
164
LITERATURVERZEICHNIS
165
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