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Kristallfehler in hochintegrierten Schaltkreisen aus Siliziumnitrid von Kolbesen, Bernd O., Mayer, Kurt R.
Veröffentlicht 1979Signatur: Wird geladen …
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Kristallfehler in hochintegrierten Schaltkreisen aus Siliziumnitrid von Kolbesen, Bernd O., Mayer, Kurt R.
Veröffentlicht 1979Signatur: Wird geladen …
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Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 89 Berlin
Veröffentlicht 1990Weitere Verfasser: “… Kolbesen, Bernd O. …”
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