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    Design, fabrication and characterization of piezoresistive pressure sensors, including the study of electrochemical etch-stop

    Design, fabrication and characterization of piezoresistive pressure sensors, including the study of electrochemical etch-stop von Kloeck, Ben

    Veröffentlicht 1989
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    Sensors mechanical sensors

    Sensors mechanical sensors

    Veröffentlicht 1994
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