RGS-Silizium: Materialanalyse und Solarzellenprozessierung
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| Language: | German |
| Published: |
Allensbach
UFO, Atelier für Gestaltung und Verl.
1999
|
| Series: | UFO-Dissertation
375 |
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 1999 |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
5
1
PROZESSIERUNG
MULTIKRISTALLINER
SILIZIUM-SOLARZELLEN
7
1.1
STANDARD-HOCHLEISTUNGSPROZESS
FUER
MULTIKRISTALLINE
SILIZIUM-SOLARZELLEN
.
7
1.1.1
VORBEHANDLUNG
.
8
1.1.2
EMITTERDIFFUSION
.
8
1.1.3
THERMISCHE
OXIDATION
.
10
1.1.4
AL-GETTERSCHRITT
UND
BACK
SURFACE
FIELD
.
10
1.1.5
FOTOLITHOGRAFIE
.
12
1.1.6
ZELLCHARAKTERISIERUNG
.
13
1.2
WASSERSTOFFPASSIVIERUNG
MULTIKRISTALLINER
SILIZIUM-SOLARZELLEN
.
15
1.2.1
MIRHP-PASSIVIERUNG
.
16
1.2.2
SELEKTIVER
EMITTERPROZESS
.
16
1.2.3
UNTERSUCHUNGEN
AUF
VERSCHIEDENEN
SILIZIUM-MATERIALIEN
.
18
1.2.4
ANTIREFLEXIONSSCHICHT
.
22
2
GETTERSTUDIEN
AN
MULTIKRISTALLINEM
SILIZIUM
26
2.1
GETTERMECHANISMEN
UND
-MODELLE
.
26
2.2
AL-GETTEM
.
30
2.2.1
VORUNTERSUCHUNG
.
31
2.2.2
AL-GETTERUNTERSUCHUNGEN
AN
SOLARZELLEN
.
32
2.3
P-GETTEM
.
36
2.3.1
P-GETTERMODELLE
.
36
2.3.2
VORUNTERSUCHUNG
.
36
2.3.3
P-PRAEGETTERUNTERSUCHUNG
UND
PROZESSKONTROLLE
.
38
2.3.4
EINFLUSS
DER
P-GETTERTEMPERATUR
AUF
DIE
AL-GETTEREFFIZIENZ
.
40
2.4
P-AL-COGETTEM
.
42
2.4.1
EINFLUSS
DER
BE-/ENTLADETEMPERATUR
AUF
DIE
GETTERWIRKUNG
.
44
2.5
EINBAU
DER
THERMISCHEN
OXIDATION
.
45
2.6
KOMBINATION
VON
GETTERN
UND
H-PASSIVIERUNG
.
48
2.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
55
3
HERSTELLUNG
VON
RGS-SILIZIUM
57
3.1
MOTIVATION
.
57
3.2
RGS-HERSTELLUNGSPRINZIP
.
58
3.3
SAUERSTOFF
IN
RGS-SILIZIUM
.
61
2
INHALTSVERZEICHNIS
4
CHARAKTERISIERUNG
VON
RGS-SILIZIUM
63
4.1
DEFEKTE
IN
RGS-SILIZIUM
.
63
4.1.1
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
63
4.1.2
BESTIMMUNG
DER
DEFEKTDICHTE
AN
DER
OBERFLAECHE
.
66
4.2
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
69
4.2.1
P-DOTIERTES
RGS-SILIZIUM
.
69
4.2.2
HALL-BEWEGLICHKEIT
.
70
4.2.3
EINFLUSS
DER
H-PASSIVIERUNG
.
73
4.2.4
N-DOTIERTES
RGS-SILIZIUM
.
A
.
75
4.2.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
TRANSPORTMESSUNGEN
.
YY
.
77
4.3
DIFFUSIONSLAENGEN
IN
RGS-SILIZIUM
.
78
4.3.1
SPV-MESSUNG
VON
RGS-SILIZIUM
.
78
4.3.2
P-GETTERN
UND
MIRHP
AN
RGS-SILIZIUM
.
79
4.3.3
HOCHTEMPERATURBEHANDLUNG
.
81
4.4
BESTIMMUNG
DER
LEBENSDAUER
.
82
4.4.1
VORBEMERKUNGEN
.
82
4.4.2
MESSUNGEN
MIT
UNPASSIVIERTER
OBERFLAECHE
.
84
4.4.3
MESSUNGEN
MIT
PASSIVIERTER
OBERFLAECHE
.
86
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
90
5
SOLARZELLEN
AUS
RGS-SILIZIUM
92
5.1
PROZESSIERUNG
VON
SOLARZELLEN
AUS
RGS-SILIZIUM
.
92
5.1.1
VORBEMERKUNGEN
.
92
5.1.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
HOMOGENITAET
.
94
5.1.3
KENNLINIEN
VON
RGS-SOLARZELLEN
.
96
5.2
GETTERUNTERSUCHUNGEN
AN
RGS-SOLARZELLEN
.
97
5.2.1
P-GETTERN
.
98
5.2.2
AL-GETTERN
.
98
5.2.3
P-AL-COGETTEM
.
101
5.2.4
HOCHTEMPERATURBEHANDLUNG
.
102
5.3
MIRHP-PASSIVIERUNG
VON
RGS-SILIZIUM
.
104
5.3.1
OPTIMIERUNG
DER
PASSIVIERUNGSDAUER
.
105
5.3.2
OPTIMIERUNG
DER
PASSIVIERUNGSTEMPERATFLR
.
106
5.3.3
D-PROFILMESSUNGEN
.
108
5.3.4
LBIC-UNTERSUCHUNGEN
.
HO
5.4
MECHANISCHE
V-TEXTUR
.
112
5.4.1
SIMULATIONEN
.
113
5.4.2
RGS-SOLARZELLEN
MIT
MECHANISCHER
V-TEXTUR
.
115
5.5
OPTIMIERTER
SOLARZELLENPROZESS
.
119
5.5.1
ERGEBNISSE
.
120
5.5.2
HISTORIE
.
121
5.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
125
ZUSAMMENFASSUNG
127
LITERATURVERZEICHNIS
130
PUBLIKATIONEN
141
INHALTSVERZEICHNIS
DANKSAGUNG
3
143 |
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