Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Mikrospiegel:
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Norderstedt
BoD - Books on Demand
[2016]
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D
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XI
A
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III
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.
1
1.1 A
11
WENDUNGST)EISPIELE. 2
1.1.1 TORSIORISNIODE: KONFOKALES LASEI-SCANNIIIG-MIKROSKOP
.
2
1.1.2 TRANSLATORISCHE MODE:
FOURIER-TRAIISFORMATIONS-INFRAROTSPEKTROMETER. 4
1.2
GLIEDERUNG.
5
2 STAND DER T
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N
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.
7
2.1 PZT-GRUIIDLAGEII UND
BAUELEMENTE.7
2-1.1 PIEZOELEKTRISCHE EIGENSCHAFT
.
7
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13
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.
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.
14
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MIKROSPIEGEL.
21
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ALLTRIEBSKONZEPTE.24
3 D
ESIGNENTW
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N
G.27
3.1
LD-SPIEGEL.27
3.1.1 RESONANTE .MIKROSPIEGEL MIT EINFACHEN TORSIONSFEDERII
.
27
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.
42
3.2
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46
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.
47
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4 F
UNKTIONSPRINZIPIEN DER P
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SITIO
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.
57
4 1 OPTISCHE YY IYY YY
.
57
4.2 PIEZORESISTIVER
EFFEKT.58
4.2.1 HALBLEITENDE PIEZORESISTIVE
SENSOREN. YYYYYYYY58
4.2.2 METALLISCHE
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KAMMELEKTRODE.63
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EFFEKT.
67
4.5
ZUSAMMENFASSUNG.
69
5 H
ERSTELLU
N
G
.
71
5.1 UEBERBLICK UEBER
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H
ARAKTERISIERUNG.
87
6.1
MESSAUFBAU.
87
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LD-MIKROSPIEGEL.89
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.
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