Struktur, Eigenschaften und Herstellung plasmapolymerisierter Sperrschichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
2005
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | IKV-Berichte aus der Kunststoffverarbeitung
169 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005 |
| Beschreibung: | III, 172 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3861305097 |
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|---|---|
| adam_text | STRUKTUR, EIGENSCHAFTEN UND HERSTELLUNG PLASMAPOLYMERISIERTER
SPERRSCHICHTEN VON DER FAKULTAT FUR MASCHINENWESEN DER
RHEINISCH-WESTFALISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES
AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE
DISSERTATION VORGELEGT VON DIPL.-ING. SEBASTIAN DIETRICH OLIVER GOBEL
AUS BREMERHAVEN BERICHTER: PROF. DR.-ING. E. SCHMACHTENBERG PROF.
DR.-ING. DR.-ING. E.H. W. MICHAELI TAG DER MUNDLICHEN PRUNING:
06.06.2005 INHALTSVERZEICHNIS 1 ELNLEITUNG UND ZLELSETZUNG 1 2
PLASMAPOLYMERISATION UND SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 7 2.1
PLASROAPOIYMERISATION 7 2.1.1 PLASMEN 7 2.1.2 POLYMERISATIONSREAKTIONEN
IM PLASMA 10 2.1.3 PLASMAPOLYMERISATION VON HMDSO UND C 2 H 2 13 2.1.4
ANLAGENTECHNIK FILR DIE NIEDERDRUCK-PLASMAPOLYMERISATION 17 2.2
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 20 2.2.1 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE (RKM/AFM) 21
2.2.2 ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE ZUR CHEMISCHEN ANALYSE (ESCA) 24 2.2.3
BESTIMMUNG DER PERMEATIONSEIGENSCHAFTEN 26 2.2.3.1 CH-TRANSMISSIONSRATE
26 2.2.3.2 CO 2 -TRANSMISSIONSRATE 28 2.2.4 BESCHICHTUNGSHOMOGENITFIT 28
3 UNTERSUCHUNGEN ZU DEN INITIALEN WACHSTUMSVORGANGEN BEI DER
PLASMAPOLYMERISATION 31 3.1 WACHSTUMSVORGANGE DIINNCR SCHICHTEN 32 3.1.1
PROZESSE BEIM SCHICHTWACHSTUM 32 3.1.2 WACHSTUMSMODELLE 33 3.1.3
SCHICHTWACHSTUM BEI CVD- UND PVD-VERFAHREN 35 3.1.4 SCHICHTWACHSTUM VON
SIO,- UND C 2 H 2 -SCHICHTEN AUF POLYMEREN 38 3.2 VORGEHENSWEISE BEI DEN
UNTERSUCHUNGEN 41 3.2.1 SUBSTRATAUSWAHL UND PROBENHERSTELLUNG 41 3.2.1.1
BESCHICHTUNGSPARAMETER DER HMDSO/O 2 -UNTERSUCHUNGEN 43 3.2.1.2
BESCHICHTUNGSPARAMETER DER C 2 H 2 /AR-UNTERSUCHUNGEN 44 3.3 ERGEBNISSE
46 3.3.1 HMDSO/O 2 -BESCHICHTUNGEN 46 3.3.1.1 AFM-UNTERSUCHUNGEN 46
3.3.1.2 ESCA-UNTERSUCHUNGEN 51 3.3.1.3 BAIRIEREUNTERSUCHUNGEN 58 3.3.1.4
FAZIT 58 3.3.2 C 2 H 2 /AR-BESCHICHTUNGEN 59 3.3.2.1
BARRIEREUNTERSUCHUNGEN 59 3.3.2.2 AFM-UNTERSUCHUNGEN 60 3.3.2.3
ESCA-UNTERSUCHUNGEN 68 3.3.2.4 FAZIT 72 4 PERMEATION DURCH POLYMERE UND
B ARRI ERE VERBUNDE UNTER DEHNUNG 73 4.1 PERMEATION DURCH POLYMERE UND
VERBUNDE 73 4.1.1 PHYSIKALISCHE VORGITAGE 73 4.1.2 EINFLUSS DER
POLYMERSTRUKTUR AUF DAS PERMEATIONSVERHALTEN 76 4.1.3
PERMEATIONSVERHALTEN VON POLYMEREN UNTER DEHNUNG 77 4.1.4
PERMEATIONSVERHALTEN VON BARRIEREVERBUNDEN 79 4.2 PERMEATIONSVERHALTEN
DER UNBESCHICHTETEN PET-FOLIE UNTER DEHNUNG 82 4.3 PERMEATION DURCH
PLASMABESCHICHTETE FOLIEN 86 4.3.1 VERHALTEN SI-HALTIGER SCHICHTEN 86
4.3.1.1 ANALYSE DER SCHICHTEN 87 4.3.1.1.1 ESCA-ANALYSE 87 4.3.1.1.2
AFM-ANALYSE 89 4.3.1.1.3 SAUERSTOFFPERMEATIONSMESSUNG 93 4.3.1.2
EINFLUSS VON DEHNUNGEN AUF DIE MORPHOLOGIE UND DAS PERMEATIONSVERHALTEN
VON BARRIEREVERBUNDEN 95 4.3.1.2.1 PROBENVORBEREITUNG 95 4.3.1.2.2
SAUERSTOFFPERMEABILITAT 95 4.3.1.2.3 BESTIMMUNG DER AKTIVIERUNGSENERGIE
DER PERMEATION 97 4.3.1.2.4 AUSWIRKUNGEN DER DEHNUNGEN AUF DIE
OBERFLSCHENMORPHOLOGIE 98 4.3.1.2.5 FAZIT 100 4.3.2 VERHALTEN
KOHLENSTOFFHALTIGER SCHICHTEN 101 4.3.2.1 KRIN SCHE DEHNUNGEN
PLASMAPOLYMERISIERTER C 2 H 2 -SCHICHTEN 102 4.3.2.2 DEHNUNGSVERHALTEN
VON MEHRSCHICHTSYSTEMEN 105 4.3.2.3 FAZIT 108 5 AUBENBESCHICHTUNG VON
PET-FLASCHEN ZUR BARRIEREVERBESSERUNG 109 5.1 STAND DER TECHNIK 109
5.1.1 INNENBESCHICHTUNG VON PET-FLASCHEN 110 5.1.2 AUBENBESCHICHTUNG VON
PET-FLASCHEN 112 5.2 OPTIMIERUNG DER BARRIEREWIRKUNG VON
KOHLENSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN 113 5.3 KONZEPTION UND AUFBAU EINES
SKALIERFAHIGEN PROTOTYPS 116 5.3.1 VORILBERLEGUNGEN ZUM AUFBAU DER
ANLAGE 116 5.3.1.1 MIKROWELLENAUSBREITUNG IN DER PROZESSKAMMER 116
5.3.1.2 GASSTROMUNG IN DER PROZESSKAMMER 118 5.3.1.3 FLASCHENHANDHABUNG
118 5.3.1.4 MASCHINENKONZEPT 119 5.3.1.5 ANLAGENSTEUERUNG 120 5.3.1.6
ZUSAMMENFASSUNG 120 5.3.2 AUFBAU DER ANLAGE 121 5.3.3 KONSTRUKTION DER
PROZESSKAMMER 122 5.3.4 MIKROWELLENEINHEIT 125 5.3.5 ANLAGENSTEUERUNG
125 5.3.6 INBETRIEBNAHME UND LEISTUNGSPRIIFUNG DER ANLAGE 127 5.4
CHARAKTERISIERUNG DES ABSCHEIDEVERHALTENS DER ANLAGE UND DER ERZEUGTEN
SCHICHTEN 129 5.4.1 C 2 H 2 /AR-SCHICHTEN 129 5.4.2 C 2 H 2 F 2
/AR-SCHICHTEN 131 INHALTSVERZEICHNIS M 5.5 FAZIT 133 6 KOMBINIERTEINNEN-
UND AUBENBESCHICHTUNG 135 7 ZUSAMMENFASSUNG, SUMMARY 139 7.1
ZUSAMMENFASSUNC
****.*.........*.*.***.***.**...............***...............*...........................................................139
7.2 SUMMARY 141 8 LITERATURVERZEICHNIS 143 9 ABKCRZUNGEN UND
FORMELZEICHEN 157 10 ANHANG 161
|
| adam_txt |
STRUKTUR, EIGENSCHAFTEN UND HERSTELLUNG PLASMAPOLYMERISIERTER
SPERRSCHICHTEN VON DER FAKULTAT FUR MASCHINENWESEN DER
RHEINISCH-WESTFALISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES
AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE
DISSERTATION VORGELEGT VON DIPL.-ING. SEBASTIAN DIETRICH OLIVER GOBEL
AUS BREMERHAVEN BERICHTER: PROF. DR.-ING. E. SCHMACHTENBERG PROF.
DR.-ING. DR.-ING. E.H. W. MICHAELI TAG DER MUNDLICHEN PRUNING:
06.06.2005 INHALTSVERZEICHNIS 1 ELNLEITUNG UND ZLELSETZUNG 1 2
PLASMAPOLYMERISATION UND SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 7 2.1
PLASROAPOIYMERISATION 7 2.1.1 PLASMEN 7 2.1.2 POLYMERISATIONSREAKTIONEN
IM PLASMA 10 2.1.3 PLASMAPOLYMERISATION VON HMDSO UND C 2 H 2 13 2.1.4
ANLAGENTECHNIK FILR DIE NIEDERDRUCK-PLASMAPOLYMERISATION 17 2.2
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 20 2.2.1 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE (RKM/AFM) 21
2.2.2 ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE ZUR CHEMISCHEN ANALYSE (ESCA) 24 2.2.3
BESTIMMUNG DER PERMEATIONSEIGENSCHAFTEN 26 2.2.3.1 CH-TRANSMISSIONSRATE
26 2.2.3.2 CO 2 -TRANSMISSIONSRATE 28 2.2.4 BESCHICHTUNGSHOMOGENITFIT 28
3 UNTERSUCHUNGEN ZU DEN INITIALEN WACHSTUMSVORGANGEN BEI DER
PLASMAPOLYMERISATION 31 3.1 WACHSTUMSVORGANGE DIINNCR SCHICHTEN 32 3.1.1
PROZESSE BEIM SCHICHTWACHSTUM 32 3.1.2 WACHSTUMSMODELLE 33 3.1.3
SCHICHTWACHSTUM BEI CVD- UND PVD-VERFAHREN 35 3.1.4 SCHICHTWACHSTUM VON
SIO,- UND C 2 H 2 -SCHICHTEN AUF POLYMEREN 38 3.2 VORGEHENSWEISE BEI DEN
UNTERSUCHUNGEN 41 3.2.1 SUBSTRATAUSWAHL UND PROBENHERSTELLUNG 41 3.2.1.1
BESCHICHTUNGSPARAMETER DER HMDSO/O 2 -UNTERSUCHUNGEN 43 3.2.1.2
BESCHICHTUNGSPARAMETER DER C 2 H 2 /AR-UNTERSUCHUNGEN 44 3.3 ERGEBNISSE
46 3.3.1 HMDSO/O 2 -BESCHICHTUNGEN 46 3.3.1.1 AFM-UNTERSUCHUNGEN 46
3.3.1.2 ESCA-UNTERSUCHUNGEN 51 3.3.1.3 BAIRIEREUNTERSUCHUNGEN 58 3.3.1.4
FAZIT 58 3.3.2 C 2 H 2 /AR-BESCHICHTUNGEN 59 3.3.2.1
BARRIEREUNTERSUCHUNGEN 59 3.3.2.2 AFM-UNTERSUCHUNGEN 60 3.3.2.3
ESCA-UNTERSUCHUNGEN 68 3.3.2.4 FAZIT 72 4 PERMEATION DURCH POLYMERE UND
B ARRI ERE VERBUNDE UNTER DEHNUNG 73 4.1 PERMEATION DURCH POLYMERE UND
VERBUNDE 73 4.1.1 PHYSIKALISCHE VORGITAGE 73 4.1.2 EINFLUSS DER
POLYMERSTRUKTUR AUF DAS PERMEATIONSVERHALTEN 76 4.1.3
PERMEATIONSVERHALTEN VON POLYMEREN UNTER DEHNUNG 77 4.1.4
PERMEATIONSVERHALTEN VON BARRIEREVERBUNDEN 79 4.2 PERMEATIONSVERHALTEN
DER UNBESCHICHTETEN PET-FOLIE UNTER DEHNUNG 82 4.3 PERMEATION DURCH
PLASMABESCHICHTETE FOLIEN 86 4.3.1 VERHALTEN SI-HALTIGER SCHICHTEN 86
4.3.1.1 ANALYSE DER SCHICHTEN 87 4.3.1.1.1 ESCA-ANALYSE 87 4.3.1.1.2
AFM-ANALYSE 89 4.3.1.1.3 SAUERSTOFFPERMEATIONSMESSUNG 93 4.3.1.2
EINFLUSS VON DEHNUNGEN AUF DIE MORPHOLOGIE UND DAS PERMEATIONSVERHALTEN
VON BARRIEREVERBUNDEN 95 4.3.1.2.1 PROBENVORBEREITUNG 95 4.3.1.2.2
SAUERSTOFFPERMEABILITAT 95 4.3.1.2.3 BESTIMMUNG DER AKTIVIERUNGSENERGIE
DER PERMEATION 97 4.3.1.2.4 AUSWIRKUNGEN DER DEHNUNGEN AUF DIE
OBERFLSCHENMORPHOLOGIE 98 4.3.1.2.5 FAZIT 100 4.3.2 VERHALTEN
KOHLENSTOFFHALTIGER SCHICHTEN 101 4.3.2.1 KRIN'SCHE DEHNUNGEN
PLASMAPOLYMERISIERTER C 2 H 2 -SCHICHTEN 102 4.3.2.2 DEHNUNGSVERHALTEN
VON MEHRSCHICHTSYSTEMEN 105 4.3.2.3 FAZIT 108 5 AUBENBESCHICHTUNG VON
PET-FLASCHEN ZUR BARRIEREVERBESSERUNG 109 5.1 STAND DER TECHNIK 109
5.1.1 INNENBESCHICHTUNG VON PET-FLASCHEN 110 5.1.2 AUBENBESCHICHTUNG VON
PET-FLASCHEN 112 5.2 OPTIMIERUNG DER BARRIEREWIRKUNG VON
KOHLENSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN 113 5.3 KONZEPTION UND AUFBAU EINES
SKALIERFAHIGEN PROTOTYPS 116 5.3.1 VORILBERLEGUNGEN ZUM AUFBAU DER
ANLAGE 116 5.3.1.1 MIKROWELLENAUSBREITUNG IN DER PROZESSKAMMER 116
5.3.1.2 GASSTROMUNG IN DER PROZESSKAMMER 118 5.3.1.3 FLASCHENHANDHABUNG
118 5.3.1.4 MASCHINENKONZEPT 119 5.3.1.5 ANLAGENSTEUERUNG 120 5.3.1.6
ZUSAMMENFASSUNG 120 5.3.2 AUFBAU DER ANLAGE 121 5.3.3 KONSTRUKTION DER
PROZESSKAMMER 122 5.3.4 MIKROWELLENEINHEIT 125 5.3.5 ANLAGENSTEUERUNG
125 5.3.6 INBETRIEBNAHME UND LEISTUNGSPRIIFUNG DER ANLAGE 127 5.4
CHARAKTERISIERUNG DES ABSCHEIDEVERHALTENS DER ANLAGE UND DER ERZEUGTEN
SCHICHTEN 129 5.4.1 C 2 H 2 /AR-SCHICHTEN 129 5.4.2 C 2 H 2 F 2
/AR-SCHICHTEN 131 INHALTSVERZEICHNIS M 5.5 FAZIT 133 6 KOMBINIERTEINNEN-
UND AUBENBESCHICHTUNG 135 7 ZUSAMMENFASSUNG, SUMMARY 139 7.1
ZUSAMMENFASSUNC
****.*.*.*.***.***.**.***.*.139
7.2 SUMMARY 141 8 LITERATURVERZEICHNIS 143 9 ABKCRZUNGEN UND
FORMELZEICHEN 157 10 ANHANG 161 |
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