Sol-Gel abgeleitete spektralselektive Sb-dotierte SnO2-Schichten auf Glas:
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| Published: |
Clausthal-Zellerfeld
Papierflieger
2015
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
0 KURZFASSUNG 1
1 STAND DER TECHNIK 3
1.1 TRANSPARENTE LEITFAEHIGE SCHICHTEN 3
1.1.1 DEFINITIONEN UND BEGRIFFE 3
1.1.2 KORRELATION DER OPTISCHEN UND
ELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN 5
1.1.3 TRANSPARENTE LEITFAEHIGE OXIDSCHICHTEN 10
1.2 TECHNISCHE BEDEUTUNG VON TCOS 12
1.3 BESCHICHTUNGSVERFAHREN 15
1.3.1 SOL-GEL VERFAHREN 15
1.3.2 GASPHASENABSCHEIDUNG 19
1.4 SPEKTRALE SELEKTIVITAET VON TCO-SCHICHTEN 23
1.4.1 SOL-GEL TAUCH-BESCHICHTUNGSVERFAHREN VS.
SPEKTRALE SELEKTIVITAET 34
2 MOTIVATION UND AUFGABENSTELLUNG 42
3 EXPERIMENTELLES 44
3.1 SCHICHTPRAEPARATION 44
3.1.1 SN02-SOL-GEL-SCHICHTEN 44
3.1.2 ATO- UND FTO-MUSTERSCHICHTEN NACH PVD- UND SPRUEH-VERFAHREN 48
3.2 UNTERSUCHUNGSMETHODEN ZUR PROBENCHARAKTERISIERUNG 49
3.2.1 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 49
3.2.2 OBERFLAECHENANALYTIK 52
3.2.3 SCHICHTSTRUKTUR: SCHICHTDICKE, KRISTALLINITAET 54
3.2.4 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 57
4 ERGEBNISSE : 59
4.1 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 59
4.1.1 AUSGANGSMATERIAL, KONZENTRATION DER BESCHICHTUNGSLOESUNG,
ZIEHGESCHWINDIGKEIT UND SCHICHTANZAHL 59
4.1.2 EINFACHSCHICHTDICKE 62
4.1.3 DOTIERUNG 65
4.1.4 KONSOLIDIERUNGSTEMPERATUR 67
4.1.5 SUBSTRAT 70
4.2 CHEMISCHE EIGENSCHAFTEN 71
4.2.1 SCHICHTZUSAMMENSETZUNG 71
4.2.2 SKVBARRIERESCHICHT 76
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4.3 GEFUEGEEIGENSCHAFTEN 78
4.3.1 AUSGANGSMATERIAL 78
4.3.2 EINFACHSCHICHTDICKE 81
4.3.3 DOTIERUNG 86
4.3.4 KONSOLIDIERUNGSTEMPERATUR 88
4.4 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 93
4.4.1 GESAMTSCHICHTDICKE (SCHICHTANZAHL) 93
4.4.2 EINFACHSCHICHTDICKE 95
4.4.3 DOTIERUNG 96
4.4.4 KONSOLIDIERUNGSTEMPERATUR 98
5 DISKUSSION 101
5.1 GEFUEGE VS. ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 101
5.2 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN VS. OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 106
5.3 ZUSAMMENFASSUNG UND FAZIT 115
LITERATURVERZEICHNIS 118
LISTE DER VERWENDETEN SYMBOLE 133
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 136
ANHANG 137
LEBENSLAUF 141
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