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    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren

    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren von Fehling, Heino

    Veröffentlicht 1985
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    Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen Direktes Step- und Repeatverfahren auf der Siliziumscheibe (Silicon-Repeater)

    Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen Direktes Step- und Repeatverfahren auf der Siliziumscheibe (Silicon-Repeater) von Fehling, Heino

    Veröffentlicht 1981
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    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren

    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren von Fehling, Heino

    Veröffentlicht 1985
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    Grundlagenentwicklung für eine Eins-fünf-mym-VLSI-Technik T. 1-4 = Report-Nr. BMFT-FB-T 85-032 = Basic development of a one five mym VLSI-technique

    Grundlagenentwicklung für eine Eins-fünf-mym-VLSI-Technik T. 1-4 = Report-Nr. BMFT-FB-T 85-032 = Basic development of a one five mym VLSI-technique von Fehling, Heino, Schmidt, Friedemann, Dörner, Wolfgang, Schwarz, Manfred

    Veröffentlicht 1985
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    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren

    Erhöhung der Packungsdichte von VLSI-Schaltungen durch automatisches Justieren von Fehling, Heino

    Veröffentlicht 1985
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