Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1991
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 211 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004631023 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19920526 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 911023s1991 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)46031533 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004631023 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Dietrich, Thomas Roland |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium |c vorgelegt von Thomas Roland Dietrich |
| 264 | 1 | |c 1991 | |
| 300 | |a 211 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1991 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Amorpher Festkörper |0 (DE-588)4120883-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laser |0 (DE-588)4034610-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laser |0 (DE-588)4034610-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Amorpher Festkörper |0 (DE-588)4120883-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Laser |0 (DE-588)4034610-9 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002843475 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804118751195430912 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Dietrich, Thomas Roland |
| author_facet | Dietrich, Thomas Roland |
| author_role | aut |
| author_sort | Dietrich, Thomas Roland |
| author_variant | t r d tr trd |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004631023 |
| ctrlnum | (OCoLC)46031533 (DE-599)BVBBV004631023 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01498nam a2200421 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV004631023</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19920526 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">911023s1991 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46031533</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004631023</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dietrich, Thomas Roland</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Thomas Roland Dietrich</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1991</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">211 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1991</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Amorpher Festkörper</subfield><subfield code="0">(DE-588)4120883-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034610-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034610-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Amorpher Festkörper</subfield><subfield code="0">(DE-588)4120883-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034610-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002843475</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV004631023 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:15:16Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002843475 |
| oclc_num | 46031533 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 DE-188 |
| physical | 211 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1991 |
| publishDateSearch | 1991 |
| publishDateSort | 1991 |
| record_format | marc |
| spelling | Dietrich, Thomas Roland Verfasser aut Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium vorgelegt von Thomas Roland Dietrich 1991 211 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1991 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Amorpher Festkörper (DE-588)4120883-3 gnd rswk-swf Laser (DE-588)4034610-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Laser (DE-588)4034610-9 s Amorpher Festkörper (DE-588)4120883-3 s DE-604 Silicium (DE-588)4077445-4 s |
| spellingShingle | Dietrich, Thomas Roland Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium Silicium (DE-588)4077445-4 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Amorpher Festkörper (DE-588)4120883-3 gnd Laser (DE-588)4034610-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4120883-3 (DE-588)4034610-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium |
| title_auth | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium |
| title_exact_search | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium |
| title_full | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium vorgelegt von Thomas Roland Dietrich |
| title_fullStr | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium vorgelegt von Thomas Roland Dietrich |
| title_full_unstemmed | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium vorgelegt von Thomas Roland Dietrich |
| title_short | Gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten Abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem Silicium |
| title_sort | gasphasenreaktionen bei der laserinduzierten abscheidung von wasserstoffhaltigem amorphem silicium |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Amorpher Festkörper (DE-588)4120883-3 gnd Laser (DE-588)4034610-9 gnd |
| topic_facet | Silicium CVD-Verfahren Amorpher Festkörper Laser Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT dietrichthomasroland gasphasenreaktionenbeiderlaserinduziertenabscheidungvonwasserstoffhaltigemamorphemsilicium |