Analysis of the basal plane dislocation density and thermomechanical stress during 100 mm PVT growth of 4H-SiC:
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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Steiner, Johannes (VerfasserIn), Roder, Melissa (VerfasserIn), Nguyen, Binh Duong (VerfasserIn), Sandfeld, Stefan (VerfasserIn), Danilewsky, Andreas N. (VerfasserIn), Wellmann, Peter 1966- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Erlangen ; Nürnberg Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2019
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