Symposium: held April 25 - 27, 2000, San Francisco, California, USA
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Three-Day Symposium Gate Stack and Silicide Issues in Silicon Processing San Francisco, Calif (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Clevenger, Larry A. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Soc. 2001
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 611 : Gate stack and silicide issues in silicon processing ; [1]
Materials Research Society symposium proceedings 611
Schlagworte:
Beschreibung:Getr. Zählung Ill., graph. Darst.
ISBN:1558995196

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