Karbonisieren von Siliziumsubstraten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1998
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 166 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3826544889 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024863058 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100417s1998 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3826544889 |9 3-8265-4488-9 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75985850 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024863058 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-11 | ||
| 084 | |a UP 3100 |0 (DE-625)146372: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Cimalla, Volker |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Karbonisieren von Siliziumsubstraten |c Volker Cimalla |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1998 | |
| 300 | |a IV, 166 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Physik | |
| 502 | |a Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1998 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019538213&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019538213 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804141863722024960 |
|---|---|
| adam_text | KARBONISIEREN VON SILIZIUMSUBSTRATEN DISSERTATION ZUR ERLANGUNG DES
AKADEMISCHEN GRADES DOKTORINGENIEUR VORGELEGT DER FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK DER TECHNISCHEN UNIVERSITAET
ILMENAU DES FREISTAATES THUERINGEN VON VOLKER CIMALLA GEBOREN AM 30. 03
1967 IN CRIMMITSCHAU BERICHTERSTATTER INHALTSVERZEICHNIS I
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS I VERWENDETE SYMBOLE IV EINLEITUNG
1 1 SILIZIUMKARBID - EIGENSCHAFTEN UND HERSTELLUNG 3 1.1
MATERIALEIGENSCHAFTEN 3 1.2 BETA-SIC UND DAS HETEROSYSTEM SI/SIC 4 1.3
KARBONISIERUNG VON SILIZIUMSUBSTRATEN 6 2 EXPERIMENTELLE VORAUSSETZUNGEN
ZUR RTCVD VON SILIZIUMKARBID 9 2.1 RTP-SYSTEM 9 2.1.1 RTP-APPARATUR UND
GASVERSORGUNG 9 2.1.2 TEMPERATURMESSUNG UND -KONTROLLE 10 2.2
ANFORDERUNGEN AN DIE RTCVD 11 2.3 TYPISCHER PROZESSVERLAUF. * 12 2.3.1
VORBEREITUNG DER SUBSTRATE UND BESCHICKUNG 13 2.3.2 PROZESSVERLAUF. 13
2.3.3 PROBENWECHSEL 14 2.3.4 BESTIMMUNG DER PROZESSZEIT 14 3
UNTERSUCHUNGEN ZUR MORPHOLOGIE UND BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE 15 3.1
PRAEPARATION EINER EICHSERIE 15 3.2 PARAMETER ZUR
OBERFLAECHENCHARAKTERISIERUNG 16 3.2.1 VERWENDETE PARAMETER 16 3.2.2
EXPERIMENTELLE BEDINGUNGEN 18 3.2.3 CHARAKTERISIERUNG DER EICHSERIE 21
3.3 BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE AM SYSTEM SIC AUF SILIZIUM 22 3.3.1
GEGENUEBERSTELLUNG MOEGLICHER VERFAHREN 22 3.3.2 SPEKTRALELLIPSOMETRIE 27
3.3.3 WINKELABHAENGIGE EINWELLENLAENGENELLIPSOMETRIE 31 3.3.4
SPEKTRALPHOTOMETRIE 33 3.3.5 INFRAROT ADSORPTION 34 3.3.6
ROENTGENREFLEKTOMETRIE 35 3.3.7 AES-TIEFENPROFILIERUNG 36 3.3.8
AUSWERTUNG UND VERGLEICH DER VERFAHREN 37 4 KARBONISIEREN VON
SILIZIUMSUBSTRATEN - EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 41 4.1 THEORETISCHE
VORBETRACHTUNGEN 41 4.1.1 THERMODYNAMISCHE BERECHNUNGEN 41 4.1.2
WACHSTUMSRATE 42 4.2 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG 44 II INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1 ELEMENTARE ZUSAMMENSETZUNG DER SCHICHTEN 44 4.2.2 CHEMISCHE
CHARAKTERISIERUNG DER SCHICHTEN 45 4.2.3 OBERFLAECHENZUSAMMENSETZUNG 46
4.2.4 NACHBEHANDLUNG DER OBERFLAECHE 47 4.3 STRUKTURBESTIMMUNG 48 4.3.1
THEORETISCHE RHEED-MUSTER 48 4.3.2 KINETISCHES PHASENDIAGRAMM 49 4.3.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT 52 4.3.4 EINFLUSS DER AUFHEIZRAMPE 52 4.4
SPANNUNGSRELAXATION 54 4.5 MORPHOLOGIE DER OBERFLAECHE 55 4.5.1 OPTISCHE
MIKROSKOPIE... 55 4.5.2 ATOMKRAFTMIKROSKOPIE (AFM) 57 4.5.3
OBERFLAECHENRAUHIGKEIT (AFM) 58 4.5.4 RHEED-UNTERSUCHUNGEN ZUR
OBERFLAECHENRAUHIGKEIT 60 4.5.5 KORNGROESSE UND KEIMDICHTE 61 4.5.6
VERHAELTNIS RAT 64 4.6 SCHICHTWACHSTUMSKINETIK 65 4.6.1 LINEARER
WACHSTUMSBEREICH 65 4.6.2 EINLAUFEN IN DIE SAETTIGUNG 66 4.6.3
SAETTIGUNGSBEREICH 66 4.7 CHARAKTERISIERUNG DER GRENZFLAECHE SI-SIC 68
4.7.1 OPTISCHE MIKROSKOPIE 68 4.7.2 AES-TIEFENPROFILIERUNG 68 4.7.3
ELLIPSOMETRIE 69 4.8 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG 70 4.8.1 PRAEPARATION
DER HETEROSTRUKTUREN 70 4.8.2 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 71 4.9
ZUSAMMENFASSUNG DER EXPERIMENTELLEN ERGEBNISSE 72 5RTCVDVONSIC 73 5.1
PROBENPRAEPARATION 73 5.2 OPTIMIERUNG DES CVD-PROZESSES 73 5.3 EINFLUSS
DER KARBONISIERUNG 75 5.4 CVD AUF SILIZIUMSUBSTRATEN OHNE KARBONISIERUNG
80 5.5 ZUSAMMENFASSUNG DER EXPERIMENTELLEN ERGEBNISSE 80 6 KARBONISIEREN
VON SILIZIUMSUBSTRATEN UNTER SSMBE-BEDINGUNGEN 81 6.1 PROPENPRAEPARATION
81 6.2 CHEMISCHE ANALYSE 82 6.3 STRUKTURBESTIMMUNG 84 INHALTSVERZEICHNIS
III 6.4 MORPHOLOGIE 86 6.5 SCHICHTWACHSTUMSKINETIK 89 6.6
ZUSAMMENFASSUNG DER EXPERIMENTELLEN ERGEBNISSE 90 7 KEIMBILDUNG UND
SCHICHTWACHSTUM BEIM KARBONISIEREN VON SILIZIUM 91 7.1 ATOMARE PROZESSE
AN DER OBERFLAECHE 91 7.2 WACHSTUMSMODI 97 7.2.1 WACHSTUMSMODELL NACH
VENABLES 98 7.2.2 VOLMER-WEBER-WACHSTUM 100 7.2.3
STRANSKI-KRASTANOV-WACHSTUM 103 7.3 MODELLE ZUR BILDUNG DER LOECHER AN
DER GRENZFLAECHE 107 7.4 ZUSAMMENFASSUNG DER WACHSTUMSMECHANISMEN 111 8
KINETIK DES SCHICHTWACHSTUMS DURCH KARBONISIERUNG VON SILIZIUM 113 8.1
KLASSISCHES MODELL DER DIFFUSIONSBEGRENZUNG 114 8.2 MODELL VON RIMAI 115
8.3 HERLEITUNG EINES MODELLS FUER RTCVD-BEDINGUNGEN 117 8.4 EINSCHAETZUNG
DER GUELTIGKEITSBEREICHE 119 9. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 121
LITERATURVERZEICHNIS 123 ANHANG - REINIGUNG DER SUBSTRATE 137 A.L
ENTFERNEN VON PARTIKELN 137 A.2 CHEMISCHE VORREINIGUNG 137 A.3 IN SITU
SUBSTRAT-REINIGUNG 140 A.4 AETZEN VON SI02-SCHICHTEN 141 A.4.1
EXPERIMENTELLE BEDINGUNGEN : 141 A.4.2 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 141
A.4.3 THEORETISCHE BETRACHTUNGEN ZU DEN REAKTIONSMECHANISMEN 142 A.4.4
AUSWERTUNG 147 A.5 WASSERSTOFFTEMPERN VON SILIZIUMSUBSTRATEN 148 A.5.1
EXPERIMENTELLE BEDINGUNGEN 148 A.5.2 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 149 A.5.3
THEORETISCHE BETRACHTUNGEN ZU DEN REAKTIONSMECHANISMEN 150 A.5.4
AUSWERTUNG 153 A.6 SCHLUSSFOLGERUNGEN 161
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Cimalla, Volker |
| author_facet | Cimalla, Volker |
| author_role | aut |
| author_sort | Cimalla, Volker |
| author_variant | v c vc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024863058 |
| classification_rvk | UP 3100 |
| ctrlnum | (OCoLC)75985850 (DE-599)BVBBV024863058 |
| discipline | Physik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01179nam a2200325 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024863058</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100417s1998 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826544889</subfield><subfield code="9">3-8265-4488-9</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75985850</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024863058</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Cimalla, Volker</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Karbonisieren von Siliziumsubstraten</subfield><subfield code="c">Volker Cimalla</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 166 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Physik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1998</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019538213&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019538213</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024863058 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:22:38Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826544889 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019538213 |
| oclc_num | 75985850 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-11 |
| owner_facet | DE-11 |
| physical | IV, 166 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Physik |
| spelling | Cimalla, Volker Verfasser aut Karbonisieren von Siliziumsubstraten Volker Cimalla Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1998 IV, 166 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Physik Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1998 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019538213&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Cimalla, Volker Karbonisieren von Siliziumsubstraten |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Karbonisieren von Siliziumsubstraten |
| title_auth | Karbonisieren von Siliziumsubstraten |
| title_exact_search | Karbonisieren von Siliziumsubstraten |
| title_full | Karbonisieren von Siliziumsubstraten Volker Cimalla |
| title_fullStr | Karbonisieren von Siliziumsubstraten Volker Cimalla |
| title_full_unstemmed | Karbonisieren von Siliziumsubstraten Volker Cimalla |
| title_short | Karbonisieren von Siliziumsubstraten |
| title_sort | karbonisieren von siliziumsubstraten |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019538213&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT cimallavolker karbonisierenvonsiliziumsubstraten |