Entwurf und Optimierung Elektronenstrahllithographie-basierter Herstellungsprozesse für die anwendungsorientierte Nanotechnologie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Dr. Hut
2013
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Nanotechnologie
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | XV, 206 S. graph. Darst. 210 mm x 148 mm, 378 g |
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