Entwicklung und Optimierung dynamischer Methoden der Raster-Sonden-Mikroskopie zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Biberger, Roland 1982- (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 2012
Schlagworte:
Online-Zugang:kostenfrei
https://doi.org/10.24405/446
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:705-opus-29919
https://d-nb.info/1025020529/34
Beschreibung:VIII, 160 S. Ill., graph. Darst.
DOI:10.24405/446

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