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Strukturuntersuchungen mit Korrelation zu den Abscheidebedingungen an gesputterten Al2O3- und SiO2-Dünnfilmen von Bender, Arne
Veröffentlicht 1992Signatur: Wird geladen …
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Strukturuntersuchungen mit Korrelation zu den Abscheidebedingungen an gesputterten Al 2 O 3 - und SiO 2 -Dünnfilmen von Bender, Arne
Veröffentlicht 1992Signatur: Wird geladen …
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