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Ein Ionenstrahl proximity printer für die Halbleitertechnologie von Behringer, Uwe
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Ein Ionenstrahl-Proximity-Printer für die Halbleitertechnologie von Behringer, Uwe
Veröffentlicht 1981Signatur: Wird geladen …
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Ein Ionenstrahl Proximity Printer für die Halbleitertechnologie von Behringer, Uwe
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EMLC 2006 lectures held at the GMM conference, January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany ; with CD-ROM
Veröffentlicht 2006Weitere Verfasser: “… Behringer, Uwe …”
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EMC 2003 lectures held at the GMM-Conference, January 13-15, 2003 in Sonthofen, Germany
Veröffentlicht 2003Weitere Verfasser: “… Behringer, Uwe …”
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EMLC 2005 21st European Mask and Lithography Conference EMLC (former EMC) ; lectures held at the GMM-Conference, January 31 - February 03, 2005 in Dresden, Germany
Veröffentlicht 2005Weitere Verfasser: “… Behringer, Uwe …”
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15th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents '98 16 - 17 November 1998, Munich-Unterhaching, Germany
Veröffentlicht 1999Weitere Verfasser: “… Behringer, Uwe …”
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Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München
Veröffentlicht 1996Weitere Verfasser: “… Behringer, Uwe …”
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