Technologische Konzepte zur Herstellung von Monolithischen Bidirektionalen Schaltern (MBS):
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2007
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 |
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| adam_text | TECHNOLOGISCHE KONZEPTE ZUR HERSTELLUNG VON MONOLITHISCHEN
BIDIREKTIONALEN SCHALTERN (MBS) VON DER FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE
AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER
INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION VORGELEGT VON
DIPLOM-INGENIEUR MATTHIAS BAUS AUS KOBLENZ BERICHTER: UNIV.-PROF. DR.
PHIL. H. KURZ UNIV.-PROF. DR. RER. NAT. W. MOKWA TAG DER MUENDLICHEN
PRUEFUNG: 20. APRIL 2007 INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2
LEISTUNGSBAUELEMENTE 3 2.1 DIODEN 5 2.2 THYRISTOREN 6 2.3 MOSFETS 7 2.4
IGBTB 9 2.5 LEISTUNGSSCHALTER MIT BEIDSEITIGER GATESTEUERUNG 11 2.6
RESUEMEE 12 3 DER MONOLITHISCHE BIDIREKTIONALE SCHALTER 15 3.1 AUFBAU UND
FUNKTIONSWEISE 16 3.2 MOS-GESTEUERTE EMITTER 18 3.3 SPERRBETRIEB 22 3.4
DURCHLASSBETRIEB 23 3.4.1 STROEME IM BAUELEMENT 24 3.4.2 SPANNUNGEN IM
BAUELEMENT 25 3.5 STROM-SPANNUNGSKENNLINIEN 26 3.6 VERGLEICH MIT ANDEREN
BAUELEMENTEN 29 3.7 SKALIERUNGSPOTENZIAL . 30 3.8 WEITERE BETRIEBSMODI
DES MBS 32 3.9 RESUEMEE 33 4 TECHNOLOGIE 35 5 MBS-HERSTELLUNGSKONZEPT 41
5.1 VORUEBERLEGUNGEN 41 5.2 VORBEREITUNG DER PROBEN 44 5.3 HERSTELLUNG
DER MESASTRUKTUR 45 5.4 HERSTELLUNG DES GATE-STAPELS . . . . ? 47 5.5
HERSTELLUNG DER SEITENGATES 49 5.6 GATEISOLATION .,. . 51 5.7
UNIVERSELLE KONTAKTE - ...... 54 5.8 METALLISIERUNG . . . . 56 5.9
RESUEMEE 62 6 STATIONAERE ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 65 6.1
DURCHLASSVERHALTEN 66 6.2 MESSERGEBNISSE IM VERGLEICH MIT DER SIMULATION
69 6.3 SPERRVERHALTEN 72 6.4 ABSCHAETZUNG DER INTERNEN TEILSPANNUNGEN 75
6.5 MULTI-EMITTER-STRUKTUREN 79 6.6 TEMPERATURABHAENGIGKEIT DER KENNLINIE
81 6.7 UNIPOLARBETRIEB 84 6.8 EINSEITIG GESTEUERTE BETRIEBSMODI 87 7
DYNAMISCHES VERHALTEN DER MBS-STRUKTUREN 89 7.1 SCHALTUNG ZUR
DYNAMISCHEN CHARAKTERISIERUNG 90 7.2 EINSCHALTVORGANG 93 7.3
AUSSCHALTVORGANG 96 7.4 DYNAMISCHE KENNLINIEN 99 8 ZUSAMMENFASSUNG 101 9
AUSBLICK 105 LITERATURVERZEICHNIS 111 VEROEFFENTLICHUNGEN, 119
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 123 TABELLENVERZEICHNIS 127 ABKUERZUNGS VERZEICHNIS
129 LEBENSLAUF J 131 DANKSAGUNG 133
|
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TECHNOLOGISCHE KONZEPTE ZUR HERSTELLUNG VON MONOLITHISCHEN
BIDIREKTIONALEN SCHALTERN (MBS) VON DER FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE
AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER
INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION VORGELEGT VON
DIPLOM-INGENIEUR MATTHIAS BAUS AUS KOBLENZ BERICHTER: UNIV.-PROF. DR.
PHIL. H. KURZ UNIV.-PROF. DR. RER. NAT. W. MOKWA TAG DER MUENDLICHEN
PRUEFUNG: 20. APRIL 2007 INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2
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