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Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das "burried channel charge-coupled device" von Bach, H.-G
Veröffentlicht 1981Signatur: Wird geladen …
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Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das Buried Channel Charge-Coupled Device von Bach, H.-G
Veröffentlicht 1981Signatur: Wird geladen …
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