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    Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir

    Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir von Bänziger, Urs-Peter

    Veröffentlicht 1977
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    Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir

    Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir von Bänziger, Urs-Peter

    Veröffentlicht 1977
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