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    Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis

    Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis by Mappes, Timo, Achenbach, Sven, Mohr, Jürgen

    Published 2006
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    Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis

    Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis by Mappes, Timo, Achenbach, Sven, Mohr, Jürgen 1955-

    Published 2006
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    Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

    Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) by Achenbach, Sven, Pantenburg, Franz Josef, Mohr, Jürgen

    Published 2000
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