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Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis von Mappes, Timo, Achenbach, Sven, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 2006Signatur: Wird geladen …
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Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis von Mappes, Timo, Achenbach, Sven, Mohr, Jürgen 1955-
Veröffentlicht 2006Signatur: Wird geladen …
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3
Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) von Achenbach, Sven, Pantenburg, Franz Josef, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 2000Signatur: Wird geladen …Inhaltsverzeichnis
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